YQH 0℃~-75℃
Улавливание и восстановление конденсата отработанных газов; Очистка выхлопных газов полупроводников- Давление в холодной зоне8 Бар
- Охлаждающая вода @25℃1300Л/Ч~3000Л/Ч 1БАР~4БАР
- Мощность3кВт~8кВт
Загрузка данных о продукте
Улавливание и рекуперация газового конденсата ЛОС
Подходит для восстановления различных летучих газов VOCs; Быстрое охлаждение, высокая эффективность, удовлетворение различных требований к температуре конденсации, низкая температура может достигать -75 ° C
Откуда берутся вредные газы?
В основном он возникает в процессе очистки, выравнивания, удаления клея, травления и разработки микросхем или печатных плат.
большой объем выхлопных газов и низкая концентрация выбросов
В процессе производства интегральных схем образуется большое количество кислотно-основных, арсановых, фосфиновых, органических и других отходящих газов. Для улавливания и регенерации конденсата отходящих газов требуется локальный скруббер.
Органические отработанные газы в основном образуются в процессах очистки, CVD, фотолитографии, мокрого травления, дегумирования и диффузии. Типы органических отработанных газов в основном включают изопропиловый спирт, ацетон, ацетат монометилового эфира пропиленгликоля, этил лактат, бутилацетат, тяжелые ароматические вещества и т.д.
параметр
Модель |
YQH-3520EXd YQH-3520Wexd |
YQH-7520EXd YQH-7520WEXd |
YQH-3530EXd YQH-3530WEXd |
YQH-7530EXd YQH-7530WEXd |
Поток газа |
20 м3/ч |
20 м3/ч |
30 м3/ч |
30 м3/ч |
Самая низкая температура |
-35℃ |
-75℃ |
-35℃ |
-75℃ |
Температура первого уровня |
0℃ |
0℃ |
0℃ |
0℃ |
Давление в холодильной камере |
8 бар |
8 бар |
8 бар |
8 бар |
Площадь теплообмена |
3m2*2 |
3m2*2 |
5m2*2 |
5m2*2 |
Материал теплообменника |
SUS304 |
SUS304 |
SUS304 |
SUS304 |
Контроль давления |
Контроль давления и защита от блокировки льда на входе и выходе первичной и вторичной испарительных ловушек |
|||
Управление размораживанием |
Управление оттаиванием может осуществляться на основе контроля давления |
|||
Диаметр воздухозаборника |
DN40 PN16 |
DN40 PN16 |
DN50 PN16 |
DN50 PN16 |
Резервуар для хранения восстановительной жидкости |
10 л Дополнительная установка насоса для перекачки регенерата |
15 л Дополнительная установка насоса для перекачки регенерата |
||
Диаметр сливного отверстия |
G1/2 |
G1/2 |
G1/2 |
G1/2 |
Система управления |
ПЛК Siemens |
|||
Отображение и запись |
7-дюймовый цветной сенсорный экран |
|||
Компрессор |
Гибкий компрессор Emerson Copeland Scroll (взрывозащищенный, заключен в кожух из эпоксидной смолы) |
|||
Источник питания 380V 50HZ MAX |
3,5 КВТ |
5 КВТ |
4KW |
6 КВТ |
Размер |
800*1200*1850 |
800*1200*1850 |
1000*1500*1850 |
1000*1500*1850 |
Охлаждающая вода (водяное охлаждение)20℃ |
1800Л/Ч 1БАР~4БАР G3/4 |
3000Л/Ч 1БАР~4БАР G3/4 |
принцип работы
Введите летучий газ VOCS в холодильную камеру оборудования (прибор настроен на температуру конденсации 3°C-40°C-75°C-115°C). Другие температурные зоны могут быть настроены в соответствии с потребностями поэтапной конденсации и сжижения. Некоторые непрерывные производственные процессы имеют двухканальный процесс переключения в низкотемпературной секции (после того как одна сторона блокируется льдом, она непосредственно переключается на другой канал для теплообмена и конденсации в холодильной камере, и в то же время блокировка льда проверяется для обработки размораживанием).
Подгонянный 25 бар
Устойчивость системы теплообмена к давлению
-40~-75℃
Соответствие различным температурам
рекомендовать продукты
загрузка...
已经是到最后一篇内容了!