FLT -25℃~-40℃

В основном используется для точного контроля температуры в процессах производства и тестирования полупроводников, нагрев в пределах 40 ° C с помощью компрессора методом нагрева горячим газом

Охладители для испытаний полупроводников

Точность измерения температуры±0.1℃
Контроль потока25~75/мин 6 бар макс.
RefrigentR404A
Диапазон мощности380В 3кВт~17кВт

охлаждающий чиллер полупроводниковый охладитель

ИНКВИЗИЦИЯ

Загрузка данных о продукте

руководство.pdf

Контроль температуры в процессах производства и тестирования полупроводников

Метод нагрева в пределах 40 ℃ принимает компрессор горячего газа отопления полностью закрытой конструкции, и машина работает непрерывно в течение 24 часов

Обеспечение стабильности и надежности всего технологического процесса производства полупроводников от передней до задней панели

Детали конфигурации

Модель	FLT-202 FLT-202W	FLT-203 FLT-203W	FLT-204 FLT-204W	FLT-206 FLT-206W	FLT-208 FLT-208W	FLT-210 FLT-210W	FLT-215 FLT-215W
Диапазон температур	-25℃～40℃
Точность регулирования температуры	±0.1℃
Управление потоком	10～25L/min ±0.3		15～45L/min ±0.3			25～75L/min ±0.3
Управление потоком	Регулировка потока осуществляется с помощью частотного преобразователя, а максимальное давление циркуляционного насоса составляет 5 бар.
Охлаждение @-15℃	2 кВт	3 кВт	3,8 кВт	6 кВт	7,6 кВт	10 кВт	15 кВт
Внутренняя циркуляция Объем жидкости	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Объем расширительного бака	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
хладагент	R404A
Вторичный хладагент	Вода, силиконовое масло, фторированная жидкость, водный раствор этиленгликоля и т.д.
Интерфейс входа и выхода	G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G3/4	G1	G1
Подключение охлаждающей воды	G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G1	G1	G1 1/8
Поток охлаждающей воды при температуре 20℃	1,2 м³/час	1,6 м³/час	2,6 м³/час	3,6 м³/час	5.5m³/H	7 м³/час	10,2 м³/час
Питание 380 В	3 КВТ	4KW	6 КВТ	8 КВТ	9 КВТ	13 КВТ	17 КВТ
Расширение температуры	При добавлении электрического нагревателя, он может быть расширен до -25℃ ~ 80℃

Описание товара

Полупроводниковое устройство контроля температуры Chiller в основном используется для точного контроля температуры в процессах производства и тестирования полупроводников. Его продукция включает в себя контроль температуры фторированной жидкости (минимум -100 градусов), быстрое изменение температуры охлаждения и нагрева газа, быстрое изменение температуры патрона, низкотемпературную газовую холодильную машину (-120 градусов), холодильную установку прямого охлаждения (-150 градусов) и т.д. Компания применяет различные алгоритмы (PID, feedforward PID и model free self built tree algorithm) в системе для достижения быстрого отклика и высокой точности управления.

Важная информация, такая как температура (давление) выхлопа и всасывания, температура конденсации, температура (давление) охлаждающей воды, температура (давление) жидкости (газа) на входе и выходе, электрическая мощность, ток и напряжение каждого компонента, а также уровень воды в баке чиллера - все это комплексно управляется, контролируется и регистрируется датчиками, подключенными к системе управления.

охладители, контролирующие температуру обработки на оборудовании Fab

Одноканальный охладитель с воздушным охлаждением, предназначенный в основном для травильных машин. Он используется для обеспечения независимого контроля температуры боковых стенок камеры.