Чтобы повысить выход продукции и обеспечить рентабельность, контроль качества должен осуществляться на каждом этапе полупроводниковой промышленности. Одним из важных факторов, влияющих на качество продукции, является температура, а стабильность и точность температуры очень важны для обеспечения стабильности и надежности продукции. Обеспечение стабильности и надежности всего технологического процесса производства полупроводников от переднего до заднего конца.
Одноканальный охладитель с воздушным охлаждением, предназначенный в основном для травильных машин. Он используется для обеспечения независимого контроля температуры боковых стенок камеры.
Может использоваться в технологических процессах: оксидирование, нанесение клеевого покрытия, фотолитография, проявка, травление, ионная имплантация, удаление клея, осаждение пленки, CMP, очистка.
LNEYA Чиллер с воздушным охлаждением или чиллер с водяным охлаждением
