Поиск по всей станции

Thermal Chillers for Semiconductor ATE & Process

Advanced liquid temperature control technology, actively exploring and researching component test systems, mainly used for temperature test simulation in pharmaceutical chemicals, new energy, semiconductors, and aerospace testing, with wide temperature direction and high temperature rise and fall, temperature range: -80°C~+90°C, temperature control accuracy up to: ±0.05℃, suitable for various test requirements.

<trp-post-container data-trp-post-id='7069'>High-precision hot cold chiller</trp-post-container>(images 1)

<trp-post-container data-trp-post-id='7069'>High-precision hot cold chiller</trp-post-container>(images 2)

Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.

Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.

Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.

Одноканальный охладитель с воздушным охлаждением, предназначенный в основном для травильных машин. Он используется для обеспечения независимого контроля температуры боковых стенок камеры.

Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.

<trp-post-container data-trp-post-id='7069'>High-precision hot cold chiller</trp-post-container>(images 3)

Серия преобразователей частоты FLTZ

Модель 5℃~90℃  -25℃~90℃  -45℃~90℃  -80℃~+90℃  -100℃~+90℃
Точность контроля температуры ±0.05℃ ±0.05℃ ±0.05℃ ±0.05℃ ±0.05℃
Мощность охлаждения 6KW~40KW @10℃ 2KW~15KW @-15℃ 1KW~8KW @-35℃ 0.6KW~3KW @-70℃ 1.5KW~3KW @-90℃

<trp-post-container data-trp-post-id='7069'>High-precision hot cold chiller</trp-post-container>(images 4)

FLTZ Frequency Conversion Multi-channel Series

Модель -20℃~+90℃  -45℃~+80℃ -10℃~+80℃  -25℃~+100℃
Pipeline Канал 2 Канал 2 Канал 3 Канал 3
Точность контроля температуры ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃
Мощность охлаждения 4kW@-10℃ 11kW@-20℃
5kW@-40℃
4kW@-10℃/21kW@+20℃ 13kW@PCW+15℃
Мощность нагрева 2 кВт 2 кВт 4.5+6kW 6 кВт

Модель FLTZ-203W/2T двухсистемный FLTZ-305W/2T двухсистемный FLTZ-406W/2T двухсистемный
Диапазон температур -20℃~90℃  -30℃~90℃ -45℃~90℃
Точность контроля температуры ±0.1℃
Расход теплоносителя 15~45l/min 6bar max
Мощность нагрева 2,5 кВт 2,5 кВт 2,5 кВт 2,5 кВт 3,5 кВт 3,5 кВт
Мощность охлаждения 3kW @-15℃ 3kW @-15℃ 5kW @-15℃ 5kW @-15℃ 2.5kW @-35℃ 2.5kW @-35℃

<trp-post-container data-trp-post-id='7069'>High-precision hot cold chiller</trp-post-container>(images 5)

ETCU Heat Exchange Chiller Series

Модель ETCU-005W ETCU-015W ETCU-030W ETCU-050W ETCU-100W ETCU-200W ETCU-300W
Диапазон температур Cooling water temperature +5℃~90℃
Точность контроля температуры ±0.05℃(Температура на выходе в установившемся режиме)
Температура охлаждающей воды 7℃~30℃ Cooling water flow is controlled by Siemens/Honeywell regulating valves
Мощность охлаждения 5 кВт 15 кВт 30 кВт 50 кВт 100 кВт 200 кВт 300 кВт

<trp-post-container data-trp-post-id='7069'>High-precision hot cold chiller</trp-post-container>(images 6)

AES Series Thermal Stream

Модель AES-4535
AES-4535W
AES-6035
AES-6035W
AES-8035
AES-8035W
AES-A1035W AES-A1235W
Диапазон температур -40℃~225℃ -60℃~225℃ -80℃~225℃ -100℃~225℃ -120℃~225℃
Точность температуры ±0.05℃(Температура на выходе в установившемся режиме)
Требования к воздуху Air filter < 5um air oil content < 0.1um air temp and humidity:5℃-32℃ 0-50%RH
Производительность обработки воздуха 10m³/h-m³/h  pressure 5bar-7.6bar

Contact LNEYA technical engineer for model selection

&lt;trp-post-container data-trp-post-id=&#039;7069&#039;&gt;High-precision hot cold chiller&lt;/trp-post-container&gt;(images 7)

&lt;trp-post-container data-trp-post-id=&#039;7069&#039;&gt;High-precision hot cold chiller&lt;/trp-post-container&gt;(images 8)

  • Эффективная стабильность производства и повторяемость результатов;
  • Использование пластинчатых теплообменников и трубопроводных нагревателей для повышения скорости охлаждения и нагрева;
  • Очень широкий диапазон температур, нет необходимости заменять жидкую среду;
  • Полностью закрытая система, продлевающая срок службы теплопроводных жидкостей;
  • Благодаря магнитному приводу насоса отсутствует проблема утечки уплотнения вала;
  • High temperature cooling technology, directly start the compressor to cool down at 300 ℃.

&lt;trp-post-container data-trp-post-id=&#039;7069&#039;&gt;High-precision hot cold chiller&lt;/trp-post-container&gt;(images 9)

&lt;trp-post-container data-trp-post-id=&#039;7069&#039;&gt;High-precision hot cold chiller&lt;/trp-post-container&gt;(images 10)

Отправьте нам свой запрос, и мы свяжемся с вами в течение 24 часов
*
*

Многоканальный

Канал 1Канал 2Канал 3

Temperature control range

-30℃~25℃-80℃~90℃5℃~90℃-60℃~-30℃*
Submitting….
Отправлено успешно!
Отправка не удалась! Пожалуйста, повторите попытку позже
Ошибка электронной почты!
Ошибка телефона!

&lt;trp-post-container data-trp-post-id=&#039;7069&#039;&gt;High-precision hot cold chiller&lt;/trp-post-container&gt;(images 11)

Temperature Control :-120℃~350℃

&lt;trp-post-container data-trp-post-id=&#039;7069&#039;&gt;High-precision hot cold chiller&lt;/trp-post-container&gt;(images 12)

Temperature Control: -40℃~100℃

&lt;trp-post-container data-trp-post-id=&#039;7069&#039;&gt;High-precision hot cold chiller&lt;/trp-post-container&gt;(images 13)

Temperature Control: -85℃~250℃

&lt;trp-post-container data-trp-post-id=&#039;7069&#039;&gt;High-precision hot cold chiller&lt;/trp-post-container&gt;(images 14)

Outdoor Chiller

&lt;trp-post-container data-trp-post-id=&#039;7069&#039;&gt;High-precision hot cold chiller&lt;/trp-post-container&gt;(images 15)

Indoor Chiller