Thermal Chillers for Semiconductor ATE & Process

Advanced liquid temperature control technology, actively exploring and researching component test systems, mainly used for temperature test simulation in pharmaceutical chemicals, new energy, semiconductors, and aerospace testing, with wide temperature direction and high temperature rise and fall, temperature range: -80°C~+90°C, temperature control accuracy up to: ±0.05℃, suitable for various test requirements.

contact support

Приложения

Temperature control system for production process and testing links.
Applied in semiconductors, LEDs, LCDs, solar photovoltaics and other fields;
The variable frequency pump can adjust the circulating fluid pressure and flow, Circulation heating can be achieved without a heater;
Multi-channel independent temperature control, no mutual influence.

Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.

Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.

Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.

Одноканальный охладитель с воздушным охлаждением, предназначенный в основном для травильных машин. Он используется для обеспечения независимого контроля температуры боковых стенок камеры.

Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.

Серия преобразователей частоты FLTZ

Temperature control range: -45℃～+90℃

The chiller’s exhaust and suction temperature (pressure), condensing temperature, cooling water temperature (pressure), inlet and outlet liquid (gas) temperature (pressure), power consumption, current of each component, voltage, water tank level and other important information are all connected to the control system through sensors for comprehensive management, monitoring and recording.

Inquiry @ sales@cnzlj.com

Модель	5℃～90℃	-25℃～90℃	-45℃～90℃	-80℃～+90℃	-100℃～+90℃
Точность контроля температуры	±0.05℃	±0.05℃	±0.05℃	±0.05℃	±0.05℃
Мощность охлаждения	6KW~40KW @10℃	2KW~15KW @-15℃	1KW~8KW @-35℃	0.6KW~3KW @-70℃	1.5KW~3KW @-90℃

Rated test conditions for all equipment: Dry bulb temperature: 20℃; Wet bulb temperature: 16℃. Inlet water temperature: 20℃; Outlet water temperature: 25℃.

FLTZ Frequency Conversion Multi-channel Series

Temperature control range: -45℃～+100℃

Multi channel independent temperature control, which can have a separate temperature range, cooling and heating capacity, thermal conductivity medium flow rate, etc., adopts two independent systems.

The system can be used for universal expansion tanks, condensers, cooling water systems, etc., which can effectively reduce equipment size and operation steps.

Inquiry @ sales@cnzlj.com

Модель	-20℃～+90℃	-45℃～+80℃	-10℃～+80℃	-25℃～+100℃
Pipeline	channel 2	channel 2	channel 3	channel 3
Точность контроля температуры	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
Мощность охлаждения	4kW@-10℃	11kW@-20℃ 5kW@-40℃	4kW@-10℃/21kW@+20℃	13kW@PCW+15℃
Мощность нагрева	2 кВт	2 кВт	4.5+6kW	6 кВт

Модель	FLTZ-203W/2T dual system		FLTZ-305W/2T dual system		FLTZ-406W/2T dual system
Диапазон температур	-20℃~90℃		-30℃~90℃		-45℃~90℃
Точность контроля температуры	±0.1℃
Heat conducting medium flow rate	15~45l/min 6bar max
Мощность нагрева	2,5 кВт	2,5 кВт	2,5 кВт	2,5 кВт	3,5 кВт	3,5 кВт
Мощность охлаждения	3kW @-15℃	3kW @-15℃	5kW @-15℃	5kW @-15℃	2.5kW @-35℃	2.5kW @-35℃

Rated test conditions for all equipment: dry bulb temperature: 20℃; wet bulb temperature: 16℃. Inlet water temperature: 20℃; outlet water temperature: 25℃.

ETCU Heat Exchange Chiller Series

Adopting compressor-free refrigeration system

temperature control range is: 5℃～+90℃

temperature control accuracy: ±0.05℃

Inquiry @ sales@cnzlj.com

Модель	ETCU-005W	ETCU-015W	ETCU-030W	ETCU-050W	ETCU-100W	ETCU-200W	ETCU-300W
Диапазон температур	Температура охлаждающей воды +5℃~90℃
Точность контроля температуры	±0,05℃（Установившаяся температура на выходе）
Температура охлаждающей воды	7℃~30℃ Поток охлаждающей воды контролируется регулирующими клапанами Siemens/Honeywell
Мощность охлаждения	5 кВт	15 кВт	30 кВт	50 кВт	100 кВт	200 кВт	300 кВт

Rated test conditions for all equipment: dry bulb temperature: 20℃; wet bulb temperature: 16℃. Inlet water temperature: 20℃; outlet water temperature: 25℃.

AES Series Thermal Stream

Thermal Solutions for ATE testing

temperature control range is: -115℃~225℃

temperature control accuracy: ±0.1℃

Inquiry @ sales@cnzlj.com

Модель	AES-4535 AES-4535W	AES-6035 AES-6035W	AES-8035 AES-8035W	AES-A1035W	AES-A1235W
Диапазон температур	-40℃～225℃	-60℃～225℃	-80℃～225℃	-100℃～225℃	-120℃～225℃
Точность температуры	±0.1℃（Steady state outlet temperature）
Air requirements	Air filter < 5um air oil content < 0.1um air temp and humidity：5℃-32℃ 0-50%RH
Air treatment capacity	10m³/h-m³/h pressure 5bar-7.6bar

Contact LNEYA technical engineer for model selection

Wechat 18914253067

Whatsapp 86-13912479193

охладители, контролирующие температуру обработки на оборудовании Fab

advantages

Эффективная стабильность производства и повторяемость результатов;
Использование пластинчатых теплообменников и трубопроводных нагревателей для повышения скорости охлаждения и нагрева;
Очень широкий диапазон температур, нет необходимости заменять жидкую среду;
Полностью закрытая система, продлевающая срок службы теплопроводных жидкостей;
Благодаря магнитному приводу насоса отсутствует проблема утечки уплотнения вала;
Технология высокотемпературного охлаждения, непосредственно запускает компрессор для охлаждения при температуре 300 ℃.

Насос с переменной частотой позволяет регулировать циркуляционное гидравлическое давление и расход

Heating function

Due to the use of heat generated during heating, circulating heating can be achieved without the need for a heater.

Функция связи

Стандартное оборудование включает последовательную связь (RS232C, RS485) и контактный вход/выход. Может взаимодействовать с устройствами заказчика или строить системы.

client output signal

Customized Chiller Solutions

Отправьте нам свой запрос, и мы свяжемся с вами в течение 24 часов

Системы динамического контроля температуры (Biochemistry Pharmaceutical Process)

Контроль температуры :-120℃~350℃

Контроль температуры для реактора высокого давления; Двухслойный стеклянный реактор; Двухслойный реактор; Микроканальный реактор; Система дистилляции; Испытание на старение материала; Вакуумная камера и т. д.

67 / 5,000 Системы контроля температуры и расхода (тестирование транспортного средства/аккумуляторной батареи)

Контроль температуры: -40℃ ~ 100℃

Моделирование температуры для проверки качества автомобиля: проверка срока службы аккумулятора, стенд для проверки топливных форсунок/двигателей, проверка подушек безопасности, стенд для проверки компонентов и т.д. Он может имитировать внешние условия окружающей среды в климатической камере или заменить внутреннюю систему, которая может создать необходимые фактические температурные условия для испытательного стенда.

Системы охлаждения-нагрева (производство полупроводников)

Контроль температуры: -85℃ ~ 250℃

Suitable for semiconductor process wet washing, photolithography, etching, chemical meteorological deposition, physical meteorological deposition, and the electronics industry (photolithography process)