FLT 5℃~-40℃

Контроль температуры полупроводников

Охлаждающий чиллер

охлаждающий чиллер полупроводниковый охладитель

Основное применение - точный контроль температуры в процессе производства и тестирования полупроводников.

Метод нагрева находится в пределах 40°C и использует горячий газ компрессора для нагрева концентрата.

Циркуляционная система имеет полностью герметичную конструкцию, а циркуляционный насос оснащен магнитным приводом.

Испытание аммиака и проверка безопасности для обеспечения безопасности, надежности и процветания системы;

После 24 часов непрерывной работы копировального аппарата

ИНКВИЗИЦИЯ

Загрузка данных о продукте

руководство.pdf

Контроль температуры в процессах производства и тестирования полупроводников

Метод нагрева в пределах 40 ℃ принимает компрессор горячего газа отопления полностью закрытой конструкции, и машина работает непрерывно в течение 24 часов

Обеспечение стабильности и надежности всего технологического процесса производства полупроводников от передней до задней панели

Детали конфигурации

Модель	ETCU-005W	ETCU-008W	ETCU-015W	ETCU-030W
Диапазон температур	Температура охлаждающей воды +5℃~90℃ ±0,3℃
Температура охлаждающей воды	7℃~30℃ Используйте регулирующий клапан Siemens/Honeywell для управления потоком охлаждающей воды
Мощность охлаждения	5 кВт	8 кВт	15 кВт	30 кВт
	Условия испытаний: При максимальном объеме циркуляции разница температур между температурой термостатирования и температурой охлаждающей воды составляет 15°C
Поток циркуляционного насоса	7~20 л/мин 5 бар	7~20 л/мин 5 бар	15~40 л/мин 5 бар	20~60 л/мин 5 бар
Объем резервуара	6L	8L	10L	15L
Размер	480750390	480750390	480750390	480750500
Мощность	220V 50HZ/60hz 0.6kw		220V 50HZ/60hz1.3kw	220V 50HZ/60hz 1.6kw

Описание товара

Полупроводниковое устройство контроля температуры Chiller в основном используется для точного контроля температуры в процессах производства и тестирования полупроводников. Его продукция включает в себя контроль температуры фторированной жидкости (минимум -100 градусов), быстрое изменение температуры охлаждения и нагрева газа, быстрое изменение температуры патрона, низкотемпературную газовую холодильную машину (-120 градусов), холодильную установку прямого охлаждения (-150 градусов) и т.д. Компания применяет различные алгоритмы (PID, feedforward PID и model free self built tree algorithm) в системе для достижения быстрого отклика и высокой точности управления.

Важная информация, такая как температура (давление) выхлопа и всасывания, температура конденсации, температура (давление) охлаждающей воды, температура (давление) жидкости (газа) на входе и выходе, электрическая мощность, ток и напряжение каждого компонента, а также уровень воды в баке чиллера - все это комплексно управляется, контролируется и регистрируется датчиками, подключенными к системе управления.

Сценарии применения температурного контроля в полупроводниковых процессах

охладители, контролирующие температуру обработки на оборудовании Fab

Одноканальный охладитель с воздушным охлаждением, предназначенный в основном для травильных машин. Он используется для обеспечения независимого контроля температуры боковых стенок камеры.