FLT 5℃~-40℃

В основном используется для точного контроля температуры в процессах производства и тестирования полупроводников, нагрев в пределах 40 ° C с помощью компрессора методом нагрева горячим газом

Охлаждающий чиллер

Точность измерения температуры±0.1℃
Контроль потока25~75/мин 6 бар макс.
RefrigentR404A
Диапазон мощности380V 3.5kW~16kW

охлаждающий чиллер полупроводниковый охладитель

ИНКВИЗИЦИЯ

Загрузка данных о продукте

руководство.pdf

Контроль температуры в процессах производства и тестирования полупроводников

Метод нагрева в пределах 40 ℃ принимает компрессор горячего газа отопления полностью закрытой конструкции, и машина работает непрерывно в течение 24 часов

Обеспечение стабильности и надежности всего технологического процесса производства полупроводников от передней до задней панели

Детали конфигурации

Модель	FLT-002 FLT-002W	FLT-003 FLT-003W	FLT-004 FLT-004W	FLT-006 FLT-006W	FLT-008 FLT-008W	FLT-010 FLT-010W	FLT-015 FLT-015W
Контроль температуры	5℃～40℃
Точность температуры	±0.1℃
Контроль потока	10～25L/min 5bar max		15～45L/min 6bar max			25～75L/min 6bar max
Холодильная мощность при температуре 10℃	6 кВт	8 кВт	10 кВт	15 кВт	20 кВт	25 кВт	40 кВт
Объем жидкости для внутренней циркуляции	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Объем расширительного бака	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
Хладагент	R410A
Вторичный хладагент	Силиконовое масло, фторированная жидкость, водный раствор этиленгликоля, DI и т.д. (температура DI должна контролироваться выше 10 ℃).
Интерфейсы входа и выхода	G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G3/4	G1	G1
Выход охлаждающей воды	G1/2	G1/2	G3/4	G1	G1	G1	G1 1/8
Расход охлаждающей воды при температуре 20℃	1,5 м³/ч	2 м³/ч	2,5 м³/ч	4 м³/ч	4,5 м³/ч	5,6 м³/ч	9 м³/ч
электропитание 380 В	3,5 кВт	4 кВт	5,5 кВт	7 кВт	9,5 кВт	12 кВт	16 кВт
Расширение температурного режима	Добавив электрический нагреватель, можно расширить температурный диапазон от -25 ℃ до 80 ℃.

Описание товара

Полупроводниковое устройство контроля температуры Chiller в основном используется для точного контроля температуры в процессах производства и тестирования полупроводников. Его продукция включает в себя контроль температуры фторированной жидкости (минимум -100 градусов), быстрое изменение температуры охлаждения и нагрева газа, быстрое изменение температуры патрона, низкотемпературную газовую холодильную машину (-120 градусов), холодильную установку прямого охлаждения (-150 градусов) и т.д. Компания применяет различные алгоритмы (PID, feedforward PID и model free self built tree algorithm) в системе для достижения быстрого отклика и высокой точности управления.

Важная информация, такая как температура (давление) выхлопа и всасывания, температура конденсации, температура (давление) охлаждающей воды, температура (давление) жидкости (газа) на входе и выходе, электрическая мощность, ток и напряжение каждого компонента, а также уровень воды в баке чиллера - все это комплексно управляется, контролируется и регистрируется датчиками, подключенными к системе управления.

Метод отопления в пределах 40 ℃ использует компрессорное отопление горячим газом.

Циркуляционная система чиллера имеет полностью закрытую конструкцию, а циркуляционный насос оснащен магнитным приводом.

Испытание чиллера 100% гелием, испытание по правилам безопасности 100% для обеспечения безопасности и надежности системы.

Охладитель непрерывно эксплуатирует копировальный аппарат в течение 24 часов при температуре 100%.

охладители, контролирующие температуру обработки на оборудовании Fab

Одноканальный охладитель с воздушным охлаждением, предназначенный в основном для травильных машин. Он используется для обеспечения независимого контроля температуры боковых стенок камеры.