LNEYA Промышленные чиллеры Производитель Поставщик
Теплообменный охладитель (контроль температуры полупроводников)
ETCU 5℃~90℃Диапазон температур: +5℃~90℃ ±0.3℃
Мощность охлаждения: 5kw~30kw
Объем бака: 6L~15L
Сила: 06KW~1.6KW
Контроль температуры в процессах производства и тестирования полупроводников
Метод нагрева в пределах 40 ℃ принимает компрессор горячего газа отопления полностью закрытой конструкции, и машина работает непрерывно в течение 24 часов
Обеспечение стабильности и надежности всего технологического процесса производства полупроводников от передней до задней панели
Детали конфигурации
| Модель | ETCU-005W | ETCU-015W | ETCU-030W | ETCU-050W | ETCU-100W | ETCU-200W | ETCU-300W |
| Диапазон температур | Cooling water temperature +5℃~90℃ | ||||||
| Точность контроля температуры | ±0.05℃ (outlet temperature steady state) | ||||||
| Температура охлаждающей воды | 7℃~30℃ Use Siemens/Honeywell regulating valve to control cooling water flow | ||||||
| Мощность охлаждения | 5 кВт | 15 кВт | 30 кВт | 50 кВт | 100 кВт | 200 кВт | 300 кВт |
| Поток циркуляционного насоса | Test conditions: At maximum circulation, the temperature difference between the control temperature and the cooling water temperature is 15°C | ||||||
| Объем резервуара для хранения | 7~20 л/мин 5 бар | 15~40 л/мин 5 бар | 20~60 л/мин 5 бар | 40~110 л/мин 5 бар | 150~250 л/мин 5 бар | 250~500 л/мин 5 бар | 400~650 л/мин 5 бар |
| Размеры | 5L | 10L | 20L | 30L | 60L | 120L | 240L |
| Размеры | 480*750*390 | 480*750*390 | 480*750*500 | Настройка | Настройка | Настройка | Настройка |
Описание товара
Полупроводниковое устройство контроля температуры Chiller в основном используется для точного контроля температуры в процессах производства и тестирования полупроводников. Его продукция включает в себя контроль температуры фторированной жидкости (минимум -100 градусов), быстрое изменение температуры охлаждения и нагрева газа, быстрое изменение температуры патрона, низкотемпературную газовую холодильную машину (-120 градусов), холодильную установку прямого охлаждения (-150 градусов) и т.д. Компания применяет различные алгоритмы (PID, feedforward PID и model free self built tree algorithm) в системе для достижения быстрого отклика и высокой точности управления.
Важная информация, такая как температура (давление) выхлопа и всасывания, температура конденсации, температура (давление) охлаждающей воды, температура (давление) жидкости (газа) на входе и выходе, электрическая мощность, ток и напряжение каждого компонента, а также уровень воды в баке чиллера - все это комплексно управляется, контролируется и регистрируется датчиками, подключенными к системе управления.
Основное применение - точный контроль температуры в процессе производства и тестирования полупроводников.
The heating method is within 40°C and uses compressor hot gas to heat the concentrate.
Циркуляционная система имеет полностью герметичную конструкцию, а циркуляционный насос оснащен магнитным приводом.
Испытание аммиака и проверка безопасности для обеспечения безопасности, надежности и процветания системы;
После 24 часов непрерывной работы копировального аппарата
Сценарии применения температурного контроля в полупроводниковых процессах
охладители, контролирующие температуру обработки на оборудовании Fab
Одноканальный охладитель с воздушным охлаждением, предназначенный в основном для травильных машин. Он используется для обеспечения независимого контроля температуры боковых стенок камеры.
Применения
Отправьте нам свой запрос, и мы свяжемся с вами в течение 24 часов
рекомендовать продукты
Патрон серии MD
-75℃ to 225°C Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ Flatness ±50um ±50um ±50um Tablet Size 200mm diameter d…
-
YQH 0℃~-75℃
Подходит для восстановления различных летучих газов VOCs; Быстрое охлаждение, высокая эффективность, удовлетворение различных требований температуры конденсации, низкая температура может достигать -75 ° C Он в основном происходит от очистки, клея ...
-
FLT-100℃~90℃
Одноканальный охладитель с воздушным охлаждением, предназначенный в основном для травильных машин. Он используется для обеспечения независимого контроля температуры боковых стенок камеры.
-
FLTZ -45℃~90℃
Метод нагрева в пределах 40 ℃ принимает компрессор горячего газа отопления полностью закрытой конструкции, и машина работает непрерывно в течение 24 часов Полупроводниковые устройства контроля температуры Чиллер в основном используется для п...
loading…
已经是到最后一篇内容了！
