FLT -100℃~90℃
охладитель воды для процесса производства полупроводников- Точность измерения температуры±0.1℃
- Контроль потока12~45/мин
- ТипСерия с переменной частотой
- Диапазон мощности380V


FLTZ -100℃~+90℃ Низкотемпературные каскадные холодильные установки серии
Модель | FLTZ-002 | FLTZ-003 | FLTZ-004 | FLTZ-006 | FLTZ-008 | FLTZ-010 | FLTZ-015 |
FLTZ-002W | FLTZ-003W | FLTZ-004W | FLTZ-006W | FLTZ-008W | FLTZ-010W | FLTZ-015W | |
Диапазон температур | 5℃~90℃ | ||||||
Точность контроля температуры | ±0,05℃(Установившаяся температура на выходе) | ||||||
Охлаждающая способность @10℃ | 6 кВт | 8 кВт | 10 кВт | 15 кВт | 20 кВт | 25 кВт | 40 кВт |
Внутренний объем циркулирующей жидкости | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
Объем расширительного бака | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
Хладагент | R410A | ||||||
Холодильная среда | Силиконовое масло, фторированная жидкость, водный раствор полиола, DI и т.д. (температура DI должна контролироваться выше 10 ℃). | ||||||
Размер соединения | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
Размер подключения охлаждающей воды | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
Поток охлаждающей воды @20℃ | 1,5 м³/ч | 2 м³/ч | 2,5 м³/ч | 4 м³/ч | 4,5 м³/ч | 5,6 м³/ч | 9 м³/ч |
Контроль температуры процесса | Удаленная температура цели может быть контролируется путем объединения самостоятельно созданной модели бесплатно себя построенный алгоритм дерева и каскадный алгоритм |
||||||
Размер см | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
Модель | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W |
Диапазон температур | -100℃~+90℃ | |
Точность контроля температуры | ±0,05℃(Установившаяся температура на выходе) | |
Контроль потока | 7~25L/min | 12~45L/min |
Охлаждающая способность при 90℃ | 1,5 кВт | 3 кВт |
Мощность нагрева | 3,5 кВт | 5,5 кВт |
Внутренний объем циркулирующей жидкости | 5L | 8L |
Объем расширительного бака | 10L | 15L |
Теплопроводящая среда | Фторированная жидкость | |
Размер соединения | ZG3/4 | ZG3/4 |
Размер подключения охлаждающей воды | ZG3/4 | ZG1 |
Охлаждающая вода при температуре 20℃ | 50 л/мин 2бар~7бар | 100 л/мин 2бар~7бар |
Автоматический выключатель | 32A | 63A |
Контроль температуры процесса | Удаленная температура цели может быть контролируется путем объединения самостоятельно созданной модели бесплатно себя построенный алгоритм дерева и каскадный алгоритм |
FLTZ -45℃~90℃
Модель | FLTZ-002 | FLTZ-003 | FLTZ-004 | FLTZ-006 | FLTZ-008 | FLTZ-010 | FLTZ-015 |
FLTZ-002W | FLTZ-003W | FLTZ-004W | FLTZ-006W | FLTZ-008W | FLTZ-010W | FLTZ-015W | |
Диапазон температур | 5℃~90℃ | ||||||
Точность контроля температуры | ±0,05℃(Установившаяся температура на выходе) | ||||||
Охлаждающая способность @10℃ | 6 кВт | 8 кВт | 10 кВт | 15 кВт | 20 кВт | 25 кВт | 40 кВт |
Внутренний объем циркулирующей жидкости | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
Объем расширительного бака | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
Хладагент | R410A | ||||||
Холодильная среда | Силиконовое масло, фторированная жидкость, водный раствор полиола, DI и т.д. (температура DI должна контролироваться выше 10 ℃). | ||||||
Размер соединения | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
Размер подключения охлаждающей воды | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
Поток охлаждающей воды @20℃ | 1,5 м³/ч | 2 м³/ч | 2,5 м³/ч | 4 м³/ч | 4,5 м³/ч | 5,6 м³/ч | 9 м³/ч |
Контроль температуры процесса | Удаленная температура цели может быть контролируется путем объединения самостоятельно созданной модели бесплатно себя построенный алгоритм дерева и каскадный алгоритм |
||||||
Размер см | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
Модель | FLTZ-202 | FLTZ-203 | FLTZ-204 | FLTZ-206 | FLTZ-208 | FLTZ-210 | FLTZ-215 |
FLTZ-202W | FLTZ-203W | FLTZ-204W | FLTZ-206W | FLTZ-208W | FLTZ-210W | FLTZ-215W | |
Диапазон температур | -25℃~90℃ | ||||||
Точность контроля температуры | ±0,05℃(Установившаяся температура на выходе) | ||||||
Контроль потока | 10~25L/min | 15~45L/min | 25~75L/min | ||||
Охлаждающая способность @-15℃ | 2 кВт | 3 кВт | 3,8 кВт | 6 кВт | 7,6 кВт | 10 кВт | 15 кВт |
Внутренний объем циркулирующей жидкости | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
Объем расширительного бака | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
Хладагент | R404A | ||||||
Холодильная среда | Силиконовое масло, фторированная жидкость, раствор гликоля и т.д. | ||||||
Размер соединения | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
Размер подключения охлаждающей воды | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
Поток охлаждающей воды @20℃ | 1,2 м³/час | 1,6 м³/час | 2,6 м³/час | 3,6 м³/час | 5.5m³/H | 7 м³/час | 10,2 м³/час |
Контроль температуры процесса | Удаленная температура цели может быть контролируется путем объединения самостоятельно созданной модели бесплатно себя построенный алгоритм дерева и каскадный алгоритм |
||||||
Размер см | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
Модель | FLTZ-402 | FLTZ-403 | FLTZ-404 | FLTZ-406 | FLTZ-408 | FLTZ-410 | FLTZ-415 |
FLTZ-402W | FLTZ-403W | FLTZ-404W | FLTZ-406W | FLTZ-408W | FLTZ-410W | FLTZ-415W | |
Диапазон температур | -45℃~90℃ | ||||||
Точность контроля температуры | ±0,05℃(Установившаяся температура на выходе) | ||||||
Контроль потока | 10~25L/min 5bar max | 15~45L/min 5bar max | 25~75L/min 5bar max | ||||
Отопление | Использование подогрева компрессора предотвращает обмерзание конденсатора | ||||||
Охлаждающая способность @-35℃ | 1 кВт | 1,4 кВт | 1,8 кВт | 2,5 кВт | 3,3 кВт | 5 кВт | 8 кВт |
Внутренний объем циркулирующей жидкости | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
Объем расширительного бака | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
Хладагент | R404A | ||||||
Холодильная среда | Силиконовое масло, фторированная жидкость, раствор гликоля и т.д. | ||||||
Размер соединения | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
Размер подключения охлаждающей воды | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
Поток охлаждающей воды @20℃ | 1.5m³/H | 2,4 м³/час | 3.5m³/H | 5 м³/час | 5.5m³/H | 6 м³/час | 8 м³/час |
Контроль температуры процесса | Удаленная температура цели может быть контролируется путем объединения самостоятельно созданной модели бесплатно себя построенный алгоритм дерева и каскадный алгоритм |
||||||
Размер см | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*500*1500 | 1080*500*1500 |
Теплообменный чиллер Бескомпрессорный
Модель | ETCU-005W | ETCU-015W | ETCU-030W | ETCU-050W | ETCU-100W | ETCU-200W | ETCU-300W |
Диапазон температур | Температура охлаждающей воды +5℃~90℃ | ||||||
Точность контроля температуры | ±0,05℃(Установившаяся температура на выходе) | ||||||
Температура охлаждающей воды | 7℃~30℃ Поток охлаждающей воды контролируется регулирующими клапанами Siemens/Honeywell | ||||||
Мощность охлаждения | 5 кВт | 15 кВт | 30 кВт | 50 кВт | 100 кВт | 200 кВт | 300 кВт |
Условия испытания: При максимальном объеме циркуляции разница температур между температура контроля температуры и температура охлаждающей воды составляет 15℃ |
|||||||
Циркуляционный насос | 7~20 л/мин 5 бар | 15~40 л/мин 5 бар | 20~60 л/мин 5 бар | 40~110 л/мин 5 бар | 150~250 л/мин 5 бар | 250~500 л/мин 5 бар | 400~650 л/мин 5 бар |
Объем резервуара | 5L | 10L | 20L | 30L | 60L | 120L | 240L |
Размер см | 480*750*390 | 480*750*390 | 480*750*500 | Настройка | Настройка | Настройка | Настройка |



охладители, контролирующие температуру обработки на оборудовании Fab

Одноканальный охладитель с воздушным охлаждением, предназначенный в основном для травильных машин. Он используется для обеспечения независимого контроля температуры боковых стенок камеры.
Приложения

Отправьте нам свой запрос, и мы свяжемся с вами в течение 24 часов
рекомендовать продукты
FLTZ -45℃~90℃
Метод нагрева в пределах 40 ℃ принимает компрессор горячего газа отопления полностью закрытой конструкции, и машина работает непрерывно в течение 24 часов Полупроводниковые устройства контроля температуры Чиллер в основном используется для п...
загрузка...
已经是到最后一篇内容了!