Метод нагрева в пределах 40 ℃ принимает компрессор горячего газа отопления полностью закрытой конструкции, и машина работает непрерывно в течение 24 часов

Обеспечение стабильности и надежности всего технологического процесса производства полупроводников от передней до задней панели

Описание товара

Полупроводниковое устройство контроля температуры Chiller в основном используется для точного контроля температуры в процессах производства и тестирования полупроводников. Его продукция включает в себя контроль температуры фторированной жидкости (минимум -100 градусов), быстрое изменение температуры охлаждения и нагрева газа, быстрое изменение температуры патрона, низкотемпературную газовую холодильную машину (-120 градусов), холодильную установку прямого охлаждения (-150 градусов) и т.д. Компания применяет различные алгоритмы (PID, feedforward PID и model free self built tree algorithm) в системе для достижения быстрого отклика и высокой точности управления.

Важная информация, такая как температура (давление) выхлопа и всасывания, температура конденсации, температура (давление) охлаждающей воды, температура (давление) жидкости (газа) на входе и выходе, электрическая мощность, ток и напряжение каждого компонента, а также уровень воды в баке чиллера - все это комплексно управляется, контролируется и регистрируется датчиками, подключенными к системе управления.

Метод отопления в пределах 40 ℃ использует компрессорное отопление горячим газом.

Циркуляционная система чиллера имеет полностью закрытую конструкцию, а циркуляционный насос оснащен магнитным приводом.

Испытание чиллера 100% гелием, испытание по правилам безопасности 100% для обеспечения безопасности и надежности системы.

Охладитель непрерывно эксплуатирует копировальный аппарат в течение 24 часов при температуре 100%.

охладители, контролирующие температуру обработки на оборудовании Fab

Одноканальный охладитель с воздушным охлаждением, предназначенный в основном для травильных машин. Он используется для обеспечения независимого контроля температуры боковых стенок камеры.

Детали конфигурации

Модель	FLTZ-002 FLTZ-002W	FLTZ-003 FLTZ-003W	FLTZ-004 FLTZ-004W	FLTZ-006 FLTZ-006W	FLTZ-008 FLTZ-008W	FLTZ-010 FLTZ-010W	FLTZ-015 FLTZ-015W
Контроль температуры	5℃～90℃
Точность температуры	±0.05℃
Контроль потока	10～25L/min 5bar max		15～45L/min 6bar max			25～75L/min 6bar max
Холодильная мощность при температуре 10℃	6 кВт	8 кВт	10 кВт	15 кВт	20 кВт	25 кВт	40 кВт
Объем жидкости для внутренней циркуляции	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Объем расширительного бака	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
Хладагент	R410A
Вторичный хладагент	Силиконовое масло, фторированная жидкость, водный раствор этиленгликоля, DI и т.д. (температура DI должна контролироваться выше 10 ℃).
Интерфейсы входа и выхода	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
Выход охлаждающей воды	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
Расход охлаждающей воды при температуре 20℃	1,5 м³/ч	2 м³/ч	2,5 м³/ч	4 м³/ч	4,5 м³/ч	5,6 м³/ч	9 м³/ч
электропитание 380 В	3,5 кВт	4 кВт	5,5 кВт	7 кВт	9,5 кВт	12 кВт	16 кВт
Расширение температурного режима	Добавив электрический нагреватель, можно расширить температурный диапазон от -25 ℃ до 80 ℃.

Модель	FLTZ-202 FLTZ-202W	FLTZ-203 FLTZ-203W	FLTZ-204 FLTZ-204W	FLTZ-206 FLTZ-206W	FLTZ-208 FLTZ-208W	FLTZ-210 FLTZ-210W	FLTZ-215 FLTZ-215W
Диапазон температур	-25℃～90℃
Точность регулирования температуры	±0.05℃
Управление потоком	10～25L/min ±0.3		15～45L/min ±0.3			25～75L/min ±0.3
Управление потоком	Регулировка потока осуществляется с помощью частотного преобразователя, а максимальное давление циркуляционного насоса составляет 5 бар.
Охлаждение @-15℃	2 кВт	3 кВт	3,8 кВт	6 кВт	7,6 кВт	10 кВт	15 кВт
Внутренняя циркуляция Объем жидкости	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Объем расширительного бака	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
хладагент	R404A
Вторичный хладагент	Вода, силиконовое масло, фторированная жидкость, водный раствор этиленгликоля и т.д.
Интерфейс входа и выхода	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
Подключение охлаждающей воды	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
Поток охлаждающей воды при температуре 20℃	1,2 м³/час	1,6 м³/час	2,6 м³/час	3,6 м³/час	5.5m³/H	7 м³/час	10,2 м³/час
Питание 380 В	3 КВТ	4KW	6 КВТ	8 КВТ	9 КВТ	13 КВТ	17 КВТ
Расширение температуры	При добавлении электрического нагревателя, он может быть расширен до -25℃ ~ 80℃

Модель	FLTZ-402FLTZ-402W	FLTZ-403FLTZ-403W	FLTZ-404FLTZ-404W	FLTZ-406FLTZ-406W	FLTZ-408FLTZ-408W	FLTZ-410FLTZ-410W	FLTZ-415FLTZ-415W
Контроль температуры	-45℃～90℃
Точность регулирования температуры	±0.05℃
Управление потоком	10～25L/min 5bar max		15～45L/min 6bar max			25～75L/min 6bar max
Отопление	Подогрев компрессора используется для предотвращения обмерзания конденсатора.
Холодильная мощность @-35℃	1 кВт	1,4 кВт	1,8 кВт	2,5 кВт	3,3 кВт	5 кВт	8 кВт
Объем жидкости внутренней циркуляции	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Объем расширительного бака	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
Хладагент	R404A
Вторичный хладагент	Вода, силиконовое масло, фторированная жидкость, водный раствор этиленгликоля и т.д.
Интерфейс входа и выхода	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG3/4
Подключение охлаждающей воды	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
Поток охлаждающей воды @20℃	1.5m³/H	2,4 м³/час	3.5m³/H	5 м³/час	5.5m³/H	6 м³/час	8 м³/час
Питание 380 В	3 КВТ	4KW	6 КВТ	7,5 КВТ	9 КВТ	12 КВТ	15 КВТ
Температурное расширение	При добавлении электрического нагревателя, он может быть расширен до -25℃ ~ 80℃