YQH 0℃~-75℃

Улавливание и восстановление конденсата отработанных газов； Очистка выхлопных газов полупроводников

Охладители для испытаний полупроводников

Давление в холодной зоне8 Бар
Охлаждающая вода @25℃1300Л/Ч~3000Л/Ч 1БАР~4БАР
Мощность3кВт~8кВт

регенерация газа Местный скребок ЛОС

ИНКВИЗИЦИЯ

Загрузка данных о продукте

руководство.pdf

Улавливание и рекуперация газового конденсата ЛОС

Подходит для восстановления различных летучих газов VOCs; Быстрое охлаждение, высокая эффективность, удовлетворение различных требований к температуре конденсации, низкая температура может достигать -75 ° C

Откуда берутся вредные газы?

В основном он возникает в процессе очистки, выравнивания, удаления клея, травления и разработки микросхем или печатных плат.

большой объем выхлопных газов и низкая концентрация выбросов

В процессе производства интегральных схем образуется большое количество кислотно-основных, арсановых, фосфиновых, органических и других отходящих газов. Для улавливания и регенерации конденсата отходящих газов требуется локальный скруббер.

Органические отработанные газы в основном образуются в процессах очистки, CVD, фотолитографии, мокрого травления, дегумирования и диффузии. Типы органических отработанных газов в основном включают изопропиловый спирт, ацетон, ацетат монометилового эфира пропиленгликоля, этил лактат, бутилацетат, тяжелые ароматические вещества и т.д.

параметр

Модель	YQH-3520EXd YQH-3520Wexd	YQH-7520EXd YQH-7520WEXd	YQH-3530EXd YQH-3530WEXd	YQH-7530EXd YQH-7530WEXd
Поток газа	20 м3/ч	20 м3/ч	30 м3/ч	30 м3/ч
Самая низкая температура	-35℃	-75℃	-35℃	-75℃
Температура первого уровня	0℃	0℃	0℃	0℃
Давление в холодильной камере	8 бар	8 бар	8 бар	8 бар
Площадь теплообмена	3m2*2	3m2*2	5m2*2	5m2*2
Материал теплообменника	SUS304	SUS304	SUS304	SUS304
Контроль давления	Контроль давления и защита от блокировки льда на входе и выходе первичной и вторичной испарительных ловушек
Управление размораживанием	Управление оттаиванием может осуществляться на основе контроля давления
Диаметр воздухозаборника	DN40 PN16	DN40 PN16	DN50 PN16	DN50 PN16
Резервуар для хранения восстановительной жидкости	10 л Дополнительная установка насоса для перекачки регенерата		15 л Дополнительная установка насоса для перекачки регенерата
Диаметр сливного отверстия	G1/2	G1/2	G1/2	G1/2
Система управления	ПЛК Siemens
Отображение и запись	7-дюймовый цветной сенсорный экран
Компрессор	Гибкий компрессор Emerson Copeland Scroll (взрывозащищенный, заключен в кожух из эпоксидной смолы)
Источник питания 380V 50HZ MAX	3,5 КВТ	5 КВТ	4KW	6 КВТ
Размер	80012001850	80012001850	100015001850	100015001850
Охлаждающая вода (водяное охлаждение)20℃	1800Л/Ч 1БАР~4БАР G3/4		3000Л/Ч 1БАР~4БАР G3/4

принцип работы

Введите летучий газ VOCS в холодильную камеру оборудования (прибор настроен на температуру конденсации 3°C-40°C-75°C-115°C). Другие температурные зоны могут быть настроены в соответствии с потребностями поэтапной конденсации и сжижения. Некоторые непрерывные производственные процессы имеют двухканальный процесс переключения в низкотемпературной секции (после того как одна сторона блокируется льдом, она непосредственно переключается на другой канал для теплообмена и конденсации в холодильной камере, и в то же время блокировка льда проверяется для обработки размораживанием).