YQH 0℃~-75℃
Улавливание и восстановление конденсата отработанных газов; Очистка выхлопных газов полупроводников- Давление в холодной зоне8 Бар
- Охлаждающая вода @25℃1300Л/Ч~3000Л/Ч 1БАР~4БАР
- Мощность3кВт~8кВт
Загрузка данных о продукте
Улавливание и рекуперация газового конденсата ЛОС
Подходит для восстановления различных летучих газов VOCs; Быстрое охлаждение, высокая эффективность, удовлетворение различных требований к температуре конденсации, низкая температура может достигать -75 ° C

Откуда берутся вредные газы?
В основном он возникает в процессе очистки, выравнивания, удаления клея, травления и разработки микросхем или печатных плат.

большой объем выхлопных газов и низкая концентрация выбросов
В процессе производства интегральных схем образуется большое количество кислотно-основных, арсановых, фосфиновых, органических и других отходящих газов. Для улавливания и регенерации конденсата отходящих газов требуется локальный скруббер.
Органические отработанные газы в основном образуются в процессах очистки, CVD, фотолитографии, мокрого травления, дегумирования и диффузии. Типы органических отработанных газов в основном включают изопропиловый спирт, ацетон, ацетат монометилового эфира пропиленгликоля, этил лактат, бутилацетат, тяжелые ароматические вещества и т.д.
параметр
Модель |
YQH-3520EXd YQH-3520Wexd |
YQH-7520EXd YQH-7520WEXd |
YQH-3530EXd YQH-3530WEXd |
YQH-7530EXd YQH-7530WEXd |
Поток газа |
20 м3/ч |
20 м3/ч |
30 м3/ч |
30 м3/ч |
Самая низкая температура |
-35℃ |
-75℃ |
-35℃ |
-75℃ |
Температура первого уровня |
0℃ |
0℃ |
0℃ |
0℃ |
Давление в холодильной камере |
8 бар |
8 бар |
8 бар |
8 бар |
Площадь теплообмена |
3m2*2 |
3m2*2 |
5m2*2 |
5m2*2 |
Материал теплообменника |
SUS304 |
SUS304 |
SUS304 |
SUS304 |
Контроль давления |
Контроль давления и защита от блокировки льда на входе и выходе первичной и вторичной испарительных ловушек |
|||
Управление размораживанием |
Управление оттаиванием может осуществляться на основе контроля давления |
|||
Диаметр воздухозаборника |
DN40 PN16 |
DN40 PN16 |
DN50 PN16 |
DN50 PN16 |
Резервуар для хранения восстановительной жидкости |
10 л Дополнительная установка насоса для перекачки регенерата |
15 л Дополнительная установка насоса для перекачки регенерата |
||
Диаметр сливного отверстия |
G1/2 |
G1/2 |
G1/2 |
G1/2 |
Система управления |
ПЛК Siemens |
|||
Отображение и запись |
7-дюймовый цветной сенсорный экран |
|||
Компрессор |
Гибкий компрессор Emerson Copeland Scroll (взрывозащищенный, заключен в кожух из эпоксидной смолы) |
|||
Источник питания 380V 50HZ MAX |
3,5 КВТ |
5 КВТ |
4KW |
6 КВТ |
Размер |
800*1200*1850 |
800*1200*1850 |
1000*1500*1850 |
1000*1500*1850 |
Охлаждающая вода (водяное охлаждение)20℃ |
1800Л/Ч 1БАР~4БАР G3/4 |
3000Л/Ч 1БАР~4БАР G3/4 |
принцип работы

Введите летучий газ VOCS в холодильную камеру оборудования (прибор настроен на температуру конденсации 3°C-40°C-75°C-115°C). Другие температурные зоны могут быть настроены в соответствии с потребностями поэтапной конденсации и сжижения. Некоторые непрерывные производственные процессы имеют двухканальный процесс переключения в низкотемпературной секции (после того как одна сторона блокируется льдом, она непосредственно переключается на другой канал для теплообмена и конденсации в холодильной камере, и в то же время блокировка льда проверяется для обработки размораживанием).

Подгонянный 25 бар
Устойчивость системы теплообмена к давлению
-40~-75℃
Соответствие различным температурам
рекомендовать продукты
MD Series Chuck
-75℃ to 225°C Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃~225℃ -75℃~225℃ -75℃~225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ Flatness ±50um ±50um ±50um Tablet Size 200mm diameter d…
FLT-100℃~90℃
Одноканальный охладитель с воздушным охлаждением, предназначенный в основном для травильных машин. Он используется для обеспечения независимого контроля температуры боковых стенок камеры.
FLTZ -45℃~90℃
Heating method within 40 ℃ adopts a compressor hot gas heating fully enclosed design, and the machine operates continuously for 24 hours The semiconductor temperature control device Chiller is mainly used for p…
ZLJ Series
Multiple control requirements can be achieved by merging multiple devices into a larger cabinet Used for small heat exchange area and large heat exchange capacity The product directly outputs and…
загрузка...
已经是到最后一篇内容了!