Semicnductor Multi-channel Chiller

FLTZ -45℃~100℃

Точность измерения температуры±0.1℃
RefrigentR404A
Контроль потока25~75/мин 6 бар макс.
Диапазон мощности380В 3кВт~17кВт

охлаждающий чиллер полупроводниковый охладитель

Temperature control in semiconductor production testing processes

Метод нагрева в пределах 40 ℃ принимает компрессор горячего газа отопления полностью закрытой конструкции, и машина работает непрерывно в течение 24 часов

Обеспечение стабильности и надежности всего технологического процесса производства полупроводников от передней до задней панели

В основном используется для точного контроля температуры в процессах производства и тестирования полупроводников, нагрев в пределах 40 ° C с помощью компрессора методом нагрева горячим газом

Детали конфигурации

FLTZ -20℃~90℃ Dual Channel

Модель	FLTZ-203W-2T
Pipeline	Канал 1	Канал 2
Диапазон температур	-20℃～+90℃	-20℃~～90℃
Точность контроля температуры	±0.1℃	±0.1℃
Мощность охлаждения	4kW@-10℃	4kW@-10℃
Мощность нагрева	2 кВт	2 кВт
Heat transfer medium flow	20L/min@0.5MPa	20L/min@0.5MPa
Heat transfer medium interface	ZG3/4	ZG3/4
Ambient temperature	10～35℃	10～35℃
Ambient humidity	30～70%	30～70%
Температура охлаждающей воды	15～20℃	15～20℃
Cooling water flow	20 л/мин	20 л/мин
Автоматический выключатель	30A
Process temperature control	Control remote target temperature based on self-created model-free self-building tree algorithm and cascade algorithm
Вес	400 кг
Размеры	5009001600

FLTZ -10℃~90℃ Dual Channel

Модель	FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W
Pipeline	Канал 1	Канал 2	Канал 3
Диапазон температур	-20℃～+50℃	+30℃～+100℃	+30℃～+40℃
Точность контроля температуры	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
Мощность охлаждения	15kW@-10℃	13kW@PCW+15℃	8kW@PCW+10℃
Мощность нагрева	2 кВт	6 кВт	Pump Heat Loss
Heat transfer medium flow	30L/min@0.85MPa	30L/min@0.85MPa	20L/min@0.8MPa
Heat transfer medium interface	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
Ambient temperature	10～35 ℃	10～35 ℃	10～35 ℃
Ambient humidity	30～70%	30～70%	30～70%
Температура охлаждающей воды	15～20℃	15～20℃	15～20℃
Cooling water flow	30L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃
Автоматический выключатель	75A
Process temperature control	Control remote target temperature based on self-created model-free self-building tree algorithm and cascade algorithm
Вес	600kg
Размеры	60010001700

Модель	FLTZ-203W/2T Dual system		FLTZ-305W/2T Dual system		FLTZ-406W/2T Dual system
Диапазон температур	-20℃~90℃		-30℃~90℃		-45℃~90℃
Точность контроля температуры	±0.1℃
Flow control and pressure	15~45l/min 6bar max
Отопление	2,5 кВт	2,5 кВт	2,5 кВт	2,5 кВт	3,5 кВт	3,5 кВт
Мощность охлаждения	3KW at-15℃	3KW at-15℃	5KW at-15℃	5KW at-15℃	2.5KW at -35℃	2.5KW at -35℃
Объем жидкости для внутренней циркуляции	5L	5L	8L	8L	8L	8L
Объем расширительного бака	15L		25L		25L
Heat transfer medium	Fluorination, antifreeze, thermal silicone oil, etc.
Хладагент	R404A/ R448
Heat transfer medium interface	ZG3/4
Интерфейс охлаждающей воды	ZG3/4
Охлаждающая вода	50L/min at20℃		600L/min at20℃		50L/min at20℃
Электропитание	Three-phase220V / Three-phase 400V /Three-phase 460V
Process temperature control	Control remote target temperature based on self-created model-free self-building tree algorithm and cascade algorithm

FLTZ -45℃~90℃ Dual Channel

Модель	FLTZ-203W/2T dual system		FLTZ-305W/2T dual system		FLTZ-406W/2T dual system
Диапазон температур	-20℃~90℃		-30℃~90℃		-45℃~90℃
Точность контроля температуры	±0.1℃
Heat conducting medium flow rate	15~45l/min 6bar max
Мощность нагрева	2,5 кВт	2,5 кВт	2,5 кВт	2,5 кВт	3,5 кВт	3,5 кВт
Мощность охлаждения	3kW at-15℃	3kW at-15℃	5kW at-15℃	5kW at-15℃	2.5kW at -35℃	2.5kW at -35℃
Объем жидкости внутренней циркуляции	5L	5L	8L	8L	8L	8L
Объем расширительного бака	15L		25L		25L
Heat-conducting medium	Fluorinated liquid, antifreeze, thermal conductive silicone oil, etc
Хладагент	R404A/ R448
Heat-conducting medium interface	ZG3/4
Интерфейс охлаждающей воды	ZG3/4
Интерфейс охлаждающей воды	50L/min at20℃		600L/min at20℃		50L/min at20℃
Мощность	Three phase 220V/Three phase 400V/Three phase 460V
Process temperature control	The remote target temperature can be controlled by combining the self created model free self built tree algorithm and cascade algorithm

Descriptions

Multi-channel independent temperature control can have separate temperature ranges, cooling and heating capabilities, heat transfer medium flow, etc. Two independent systems are used. Steam compression refrigeration or ETCU compressor-free heat exchange system can be selected according to the required temperature range. The system can use expansion tanks, condensers, cooling water systems, etc., which can effectively reduce equipment size and reduce operating steps.

охладители, контролирующие температуру обработки на оборудовании Fab

Одноканальный охладитель с воздушным охлаждением, предназначенный в основном для травильных машин. Он используется для обеспечения независимого контроля температуры боковых стенок камеры.