FLTZ Variable Frequency Series Multi-channel Chillers

ПРИЛОЖЕНИЯ

Semiconductor air cooling & water cooling Chiller is mainly used for precise temperature control in semiconductor production and testing. Products include fluid fluorinated liquid temperature control (minimum -100 degrees), gas hot and cold rapid temperature change, rapid temperature change chuck, low temperature gas refrigerator (-120 degrees), direct cooling refrigeration unit (-150 degrees), etc. The company applies a variety of algorithms (PID, feedforward PID, model-free self-building algorithm) in the system to achieve fast system response and high control accuracy.

Получите поддержку

Запрос @ Email

Характеристики товара

ПервыйTemperature control range: -45℃～+100℃
Temperature control accuracy: ±0.1℃

ВторойSupport dual-channel, three-channel, six-channel

ТретийCombination of multiple algorithms, fast system response

ЧетвертыйAir cooling and Water cooling are available

Параметры продукта

Model 1
Model 2
Model 3
Model 4
Model 5

FLTZ -20℃～+90℃

Модель	FLTZ-203W-2T
Pipeline	channel 1	channel 2
Диапазон температур	-20℃～+90℃	-20℃～+90℃
Мощность охлаждения	4kW@-10℃	4kW@-10℃
Мощность нагрева	2 кВт	2 кВт
Heat conducting medium flow rate	20L/min@0.5MPa	20L/min@0.5MPa
Heat conducting medium connection size	ZG3/4	ZG3/4
Температура окружающей среды	10～35℃	10～35℃
Ambient humidity	30～70%	30～70%
Cooling water flow rate	15～20℃	15～20℃
Температура охлаждающей воды	20 л/мин	20 л/мин
Автоматический выключатель	30A
Вес	400 кг
Размер см	5009001600

FLTZ -45℃～+40℃

Модель	FLTZ-406W/ETCU-015W
Pipeline	channel 1	channel 2
Диапазон температур	-45℃～+40℃	+10℃～+80℃
Мощность охлаждения	11kW@-20℃ 5kW@-40℃	13kW@+10℃
Мощность нагрева	2 кВт	6 кВт
Heat conducting medium flow rate	17L/min@0.7MPa	17L/min@0.7MPa
Heat conducting medium connection size	ZG3/4	ZG3/4
Температура окружающей среды	10～35℃	10～35℃
Ambient humidity	30～70%	30～70%
Cooling water flow rate	15～20℃	15～20℃
Температура охлаждающей воды	40L/min	20 л/мин
Автоматический выключатель	80A
Вес	550kg
Размер см	60010001850

FLTZ -10℃～+80℃

Модель	FLTZ-203W/ETCU-008W
Pipeline	channel 1	channel 2	channel 3
Диапазон температур	-10℃～+60℃	+30℃～+80℃	-10℃～+80℃
Мощность охлаждения	4kW@-10℃/21kW@+20℃	6 kW@+30℃	3kW@-10℃
Мощность нагрева	4 кВт	4.5+6kW	3 кВт
Heat conducting medium flow rate	17L/min@0.7MPa	17L/min@0.7MPa	17L/min@0.7MPa
Heat conducting medium connection size	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
Температура окружающей среды	10～35 ℃	10～35 ℃	10～35 ℃
Ambient humidity	30～70%	30～70%	30～70%
Cooling water flow rate	15～20℃	15～20℃	15～20℃
Температура охлаждающей воды	30L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃
Автоматический выключатель	100A
Вес	600kg
Размер см	60010001700

FLTZ -20℃～+50℃

Модель	FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W
Pipeline	channel 1	channel 2	channel 3
Диапазон температур	-20℃～+50℃	+30℃～+100℃	+30℃～+40℃
Мощность охлаждения	15kW@-10℃	13kW@PCW+15℃	8kW@PCW+10℃
Мощность нагрева	2 кВт	6 кВт	Pump Heat Loss
Heat conducting medium flow rate	30L/min@0.85MPa	30L/min@0.85MPa	20L/min@0.8MPa
Heat conducting medium connection size	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
Температура окружающей среды	10～35 ℃	10～35 ℃	10～35 ℃
Ambient humidity	30～70%	30～70%	30～70%
Cooling water flow rate	15～20℃	15～20℃	15～20℃
Температура охлаждающей воды	30L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃
Автоматический выключатель	75A
Вес	600kg
Размер см	60010001700

FLTZ -45℃~90℃

Модель	FLTZ-203W/2T dual system		FLTZ-305W/2T dual system		FLTZ-406W/2T dual system
Диапазон температур	-20℃~90℃		-30℃~90℃		-45℃~90℃
Heat conducting medium flow rate	15~45l/min 6bar max
Мощность нагрева	2,5 кВт	2,5 кВт	2,5 кВт	2,5 кВт	3,5 кВт	3,5 кВт
Мощность охлаждения	3kW at-15℃	3kW at-15℃	5kW at-15℃	5kW at-15℃	2.5kW at -35℃	2.5kW at -35℃
Объем жидкости внутренней циркуляции	5L	5L	8L	8L	8L	8L
Объем расширительного бака	15L		25L		25L
Heat-conducting medium	Fluorinated liquid, antifreeze, thermal conductive silicone oil, etc
Хладагент	R404A/ R448
Heat-conducting medium interface	ZG3/4
Интерфейс охлаждающей воды	ZG3/4
Интерфейс охлаждающей воды	50L/min at20℃		600L/min at20℃		50L/min at20℃
Мощность	Three phase 220V/Three phase 400V/Three phase 460V

Product Advantages

Эффективная стабильность производства и повторяемость результатов;
Использование пластинчатых теплообменников и трубопроводных нагревателей для повышения скорости охлаждения и нагрева;
Очень широкий диапазон температур, нет необходимости заменять жидкую среду;
Полностью закрытая система, продлевающая срок службы теплопроводных жидкостей;
Благодаря магнитному приводу насоса отсутствует проблема утечки уплотнения вала;
Технология высокотемпературного охлаждения, непосредственно запускает компрессор для охлаждения при температуре 300 ℃.

Насос с переменной частотой позволяет регулировать циркуляционное гидравлическое давление и расход

выходной сигнал клиента

Функция связи

ПРИЛОЖЕНИЯ

Устройство контроля температуры в полупроводниковом FAB-процессе

Производство полупроводников - это процесс с чрезвычайно высокими требованиями к окружающей среде, и многие этапы процесса очень чувствительны к температуре.
Точный контроль температуры позволяет обеспечить равномерную толщину и точный состав осажденных пленок, тем самым улучшая производительность и выход микросхем.

Узнать больше

для процесса упаковки и тестирования полупроводников

Процесс упаковки и тестирования полупроводников является ключевым звеном в процессе производства полупроводников, включая тестирование пластин, упаковку чипов и тестирование после упаковки. Этот процесс требует не только высокой степени точности и надежности, но и строгого температурного контроля для обеспечения качества и производительности продукции.

Подробнее>

Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.

Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.

Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.

Одноканальный охладитель с воздушным охлаждением, предназначенный в основном для травильных машин. Он используется для обеспечения независимого контроля температуры боковых стенок камеры.

Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.

LNEYA provides customized Chiller services

custom chiller sizes

Whether it is portable, compact, large and small chillers, we can custom design them according to your requirements. No matter how many tons of chiller you need, we can create the best solution.

custom chiller types

We provide chillers of various refrigeration types, including but not limited to air-cooled, water-cooled and evaporative-condensing chillers. Regardless of the type of refrigeration compressor, we can design it according to your requirements.

custom temperature ranges

We can create a custom solution for temperatures from -150℃ to +350℃. Custom temperature ranges for specific industries.

custom chiller voltage

Customize chiller voltage and phase according to your needs. Optional 110V/60HZ, 220V/60HZ, 380V/50HZ, 220V/50HZ, 400V/50HZ, 460V/60HZ, 440V~480V/60HZ, etc.

Посетите фабрику LNEYA

Почему вы выбираете lneya в качестве поставщика средств контроля температуры?

С момента нашего основания в 2006Мы обслужили более 30 000 клиентов и обладаем несколькими патентами, которые подтверждают наши инновации и надежность. Наши чиллеры выбирают более 100 университет лабораторных проектов по всему миру и экспортируется в более чем 20 стран. Мы обеспечиваем высочайшее качество благодаря строгому 3-этапный процесс контроля качества: визуальный осмотр, проверка работоспособности и тестирование электробезопасности. Наше стремление к совершенству подкрепляется следующими факторами 24/7 клиент поддержка. Кроме того, у нас есть агенты в США, Канаде, Австралии, России и Южной Корее, что делает нас глобальным, надежным партнером для удовлетворения ваших потребностей в охладителях. Выбирайте lneya за качество и поддержку вашего проекта.

18+

Годы опыта

30000+

Удовлетворенные клиенты

25000

м² Производственная площадь

80+

Запатентованные технологии

связаться с нами

Отправьте нам свой запрос, и мы свяжемся с вами в течение 24 часов