LNEYA Промышленные чиллеры Производитель Поставщик
Чиллер серии FLTZ с переменной частотой для полупроводниковой промышленности
ПРИЛОЖЕНИЯ
Semiconductor temperature control unit Chiller is mainly used for precise temperature control in the semiconductor production process and testing process. The company applies multiple algorithms (PID, feedforward PID, model-free self-building algorithm) in the system to achieve fast system response and high control accuracy.
Параметры продукта
FLTZ 5℃～90℃
| Модель | 002 002W |
003 003W |
004 004W |
006 006W |
008 008W |
010 010W |
015 015W |
| Диапазон температур | 5℃～90℃ | ||||||
| Охлаждающая способность @10℃ | 6 кВт | 8 кВт | 10 кВт | 15 кВт | 20 кВт | 25 кВт | 40 кВт |
| Внутренний объем циркулирующей жидкости | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Объем расширительного бака | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Хладагент | R410A | ||||||
| Холодильная среда | Силиконовое масло, фторированная жидкость, водный раствор полиола, DI и т.д. (температура DI должна контролироваться выше 10 ℃). | ||||||
| Размер соединения | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Размер подключения охлаждающей воды | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Поток охлаждающей воды @20℃ | 1,5 м³/ч | 2 м³/ч | 2,5 м³/ч | 4 м³/ч | 4,5 м³/ч | 5,6 м³/ч | 9 м³/ч |
| Размер см | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
FLTZ -25℃～90℃
| Модель | FLTZ-202 FLTZ-202W |
FLTZ-203 FLTZ-203W |
FLTZ-204 FLTZ-204W |
FLTZ-206 FLTZ-206W |
FLTZ-208 FLTZ-208W |
FLTZ-210 FLTZ-210W |
FLTZ-215 FLTZ-215W |
| Диапазон температур | -25℃～90℃ | ||||||
| Точность контроля температуры | ±0,05℃（Установившаяся температура на выходе） | ||||||
| Контроль потока | 10～25L/min | 15～45L/min | 25～75L/min | ||||
| Охлаждающая способность @-15℃ | 2 кВт | 3 кВт | 3,8 кВт | 6 кВт | 7,6 кВт | 10 кВт | 15 кВт |
| Внутренний объем циркулирующей жидкости | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Объем расширительного бака | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Хладагент | R404A | ||||||
| Холодильная среда | Силиконовое масло, фторированная жидкость, раствор гликоля и т.д. | ||||||
| Размер соединения | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Размер подключения охлаждающей воды | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Поток охлаждающей воды @20℃ | 1,2 м³/час | 1,6 м³/час | 2,6 м³/час | 3,6 м³/час | 5.5m³/H | 7 м³/час | 10,2 м³/час |
| Размер см | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
| Контроль температуры процесса | Удаленная температура цели может быть контролируется путем объединения самостоятельно созданной модели бесплатно себя построенный алгоритм дерева и каскадный алгоритм |
||||||
FLTZ -45℃～90℃
| Модель | FLTZ-402 FLTZ-402W |
FLTZ-403 FLTZ-403W |
FLTZ-404 FLTZ-404W |
FLTZ-406 FLTZ-406W |
FLTZ-408 FLTZ-408W |
FLTZ-410 FLTZ-410W |
FLTZ-415 FLTZ-415W |
| Диапазон температур | -45℃～90℃ | ||||||
| Точность контроля температуры | ±0,05℃（Установившаяся температура на выходе） | ||||||
| Контроль потока | 10～25L/min 5bar max | 15～45L/min 5bar max | 25～75L/min 5bar max | ||||
| Отопление | Использование подогрева компрессора предотвращает обмерзание конденсатора | ||||||
| Охлаждающая способность @-35℃ | 1 кВт | 1,4 кВт | 1,8 кВт | 2,5 кВт | 3,3 кВт | 5 кВт | 8 кВт |
| Внутренний объем циркулирующей жидкости | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Объем расширительного бака | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Хладагент | R404A | ||||||
| Холодильная среда | Силиконовое масло, фторированная жидкость, раствор гликоля и т.д. | ||||||
| Размер соединения | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Размер подключения охлаждающей воды | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Поток охлаждающей воды @20℃ | 1.5m³/H | 2,4 м³/час | 3.5m³/H | 5 м³/час | 5.5m³/H | 6 м³/час | 8 м³/час |
| Размер см | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*500*1500 | 1080*500*1500 |
| Контроль температуры процесса | Удаленная температура цели может быть контролируется путем объединения самостоятельно созданной модели бесплатно себя построенный алгоритм дерева и каскадный алгоритм |
||||||
FLTZ -80℃～+90℃
| Модель | FLTZ-803W | FLTZ-805W | FLTZ-806W | FLTZ-808W | FLTZ-810W |
| Диапазон температур | -80℃～+90℃ | ||||
| Точность контроля температуры | ±0,05℃（Установившаяся температура на выходе） | ||||
| Контроль потока | 7～25L/min 5bar max | 12～45L/min 6bar max | |||
| Cooling capacityat-70℃ | 0,6 кВт | 1 кВт | 1,5 кВт | 2 кВт | 3 кВт |
| Мощность нагрева | 2 кВт | 2 кВт | 2 кВт | 3,5 кВт | 3,5 кВт |
| Внутренний объем циркулирующей жидкости | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
| Объем расширительного бака | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
| Теплопроводящая среда | Фторированная жидкость | ||||
| Размер соединения | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Размер подключения охлаждающей воды | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Охлаждающая вода при температуре 20℃ | 1.8m3/h | 2.5m3/h | 3 м3/ч | 5 м3/ч | 6 м3/ч |
| Автоматический выключатель | 25A | 25A | 32A | 40A | 50A |
| Размер см | 550*700*1750 | 650*850*1850 | 700*850*1850 | 700*850*1850 | 800*1200*1850 |
| Контроль температуры процесса | Удаленная температура цели может быть контролируется путем объединения самостоятельно созданной модели бесплатно себя построенный алгоритм дерева и каскадный алгоритм |
||||
FLTZ -100℃～+90℃
| Модель | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W |
| Диапазон температур | -100℃～+90℃ | |
| Точность контроля температуры | ±0,05℃（Установившаяся температура на выходе） | |
| Контроль потока | 7～25L/min | 12～45L/min |
| Охлаждающая способность при 90℃ | 1,5 кВт | 3 кВт |
| Мощность нагрева | 3,5 кВт | 5,5 кВт |
| Внутренний объем циркулирующей жидкости | 5L | 8L |
| Объем расширительного бака | 10L | 15L |
| Теплопроводящая среда | Фторированная жидкость | |
| Размер соединения | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Размер подключения охлаждающей воды | ZG3/4 | ZG1 |
| Охлаждающая вода при температуре 20℃ | 50 л/мин 2бар~7бар | 100 л/мин 2бар~7бар |
| Автоматический выключатель | 32A | 63A |
| Контроль температуры процесса | Удаленная температура цели может быть контролируется путем объединения самостоятельно созданной модели бесплатно себя построенный алгоритм дерева и каскадный алгоритм |
|
Product Advantages
- Эффективная стабильность производства и повторяемость результатов;
- Использование пластинчатых теплообменников и трубопроводных нагревателей для повышения скорости охлаждения и нагрева;
- Очень широкий диапазон температур, нет необходимости заменять жидкую среду;
- Полностью закрытая система, продлевающая срок службы теплопроводных жидкостей;
- Благодаря магнитному приводу насоса отсутствует проблема утечки уплотнения вала;
- Технология высокотемпературного охлаждения, непосредственно запускает компрессор для охлаждения при температуре 300 ℃.
Насос с переменной частотой позволяет регулировать циркуляционное гидравлическое давление и расход
выходной сигнал клиента
Функция связи
ПРИЛОЖЕНИЯ
Устройство контроля температуры в полупроводниковом FAB-процессе
Производство полупроводников - это процесс с чрезвычайно высокими требованиями к окружающей среде, и многие этапы процесса очень чувствительны к температуре.
Точный контроль температуры позволяет обеспечить равномерную толщину и точный состав осажденных пленок, тем самым улучшая производительность и выход микросхем.
для процесса упаковки и тестирования полупроводников
Процесс упаковки и тестирования полупроводников является ключевым звеном в процессе производства полупроводников, включая тестирование пластин, упаковку чипов и тестирование после упаковки. Этот процесс требует не только высокой степени точности и надежности, но и строгого температурного контроля для обеспечения качества и производительности продукции.
Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.
Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.
Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.
Одноканальный охладитель с воздушным охлаждением, предназначенный в основном для травильных машин. Он используется для обеспечения независимого контроля температуры боковых стенок камеры.
Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.
LNEYA provides customized Chiller services
custom chiller sizes
Whether it is portable, compact, large and small chillers, we can custom design them according to your requirements. No matter how many tons of chiller you need, we can create the best solution.
custom chiller types
We provide chillers of various refrigeration types, including but not limited to air-cooled, water-cooled and evaporative-condensing chillers. Regardless of the type of refrigeration compressor, we can design it according to your requirements.
custom temperature ranges
We can create a custom solution for temperatures from -150℃ to +350℃. Custom temperature ranges for specific industries.
custom chiller voltage
Customize chiller voltage and phase according to your needs. Optional 110V/60HZ, 220V/60HZ, 380V/50HZ, 220V/50HZ, 400V/50HZ, 460V/60HZ, 440V~480V/60HZ, etc.
Посетите фабрику LNEYA
Почему вы выбираете lneya в качестве поставщика средств контроля температуры?
Годы опыта
Удовлетворенные клиенты
м² Производственная площадь
Запатентованные технологии
связаться с нами
Отправьте нам свой запрос, и мы свяжемся с вами в течение 24 часов
