Контроль температуры и охладители в окислительно-диффузионном процессе

2024-07-02 750

Процесс окислительной диффузии - ключевой этап в производстве полупроводников. Он используется в основном для формирования точных оксидных слоев и легирования и предъявляет чрезвычайно жесткие требования к температурному контролю. В этом процессе охладитель, как имп...

Посмотреть детали