Как работают полупроводниковые CVD- и PVD-холодильники?
1062Принцип работы охладителей, используемых в процессах химического осаждения из паровой фазы (CVD) и физического осаждения из паровой фазы (PVD) полупроводников, заключается в основном в отводе тепла, выделяемого в ходе процесса, путем циркуляции охлаждающей воды или специальных охлаждающих...
Посмотреть детали