LNEYA Промышленные чиллеры Производитель Поставщик
Многоканальные охладители
Диапазон температуры -45℃~90℃, Точная ±0.1℃, Независимое управление
Охлаждает несколько процессов одним устройством. Надёжный, компактный и энергосберегающий.
Многоканальные чиллеры
Многоканальный чиллер FLTZ может обеспечивать независимый температурный контроль для каждого канала. Мы можем установить одинаковый или разный диапазон температур, расход теплоносителя и другие параметры для каждого канала в соответствии с вашими потребностями.
Каналы не влияют друг на друга. Даже если один канал выходит из строя, это не повлияет на работу других каналов.
Линейка многоканальных чиллеров FLTZ включает стандартные двухканальные и трехканальные модели. Для специализированных приложений мы предлагаем индивидуальные решения, адаптированные к вашим конкретным требованиям, включая количество каналов, параметры управления и размеры оборудования.
Особенности многоканальных чиллеров
1. Независимое управление температурой
Многоканальные чиллеры FLTZ с регулируемой частотой имеют функцию независимого температурного контроля для каждого канала. Разные каналы могут быть спроектированы с разными диапазонами температур, мощностью нагрева и охлаждения, а также расходом теплоносителя. В зависимости от требуемого диапазона температур можно выбрать парокомпрессионное охлаждение или систему теплообмена без компрессора ETCU.
2. Централизованное управление
Чиллеры с частотным регулированием FLTZ с несколькими каналами могут управлять несколькими системами жидкостных каналов с помощью одного основного блока. Вы можете удалённо контролировать несколько каналов через одну систему. Такая централизованная система управления не только повышает эффективность работы, но и оптимизирует диагностику неисправностей и рабочие процедуры.
3. Экономия пространства и сокращение проводки
Разные каналы могут использовать расширительные баки, конденсаторы, системы охлаждающей воды и другие компоненты, что позволяет эффективно уменьшить количество проводки и размеры оборудования, делая ваши многоканальные чиллеры более компактными и занимающими меньшую площадь.
4. Точное и стабильное регулирование температуры
Многоканальные чиллеры FLTZ с частотным регулированием обеспечивают точность управления температурой до ±0,1℃. Они используют алгоритм построения дерева без модели и предиктор с гистерезисом, а также одновременно управляют вентиляторами с частотным регулированием, электронными расширительными клапанами и компрессорами с переменной частотой, что обеспечивает стабильность регулирования температуры при колебаниях тепловой нагрузки.
5. Экономия энергии с использованием частотного регулирования
Многоканальные чиллеры FLTZ с частотным регулированием оснащены компрессором, вентилятором и насосом с регулируемой частотой, которые могут управлять скоростью работы каждого мотора компрессора, вентилятора и насоса в соответствии с нагрузкой вашего оборудования.
6. Нагрев компрессора
Когда температура ниже 40℃, многоканальные чиллеры могут пропускать горячие выхлопные газы через расширительный клапан, и циркулирующая жидкость может нагреваться без нагревателя.
7. Снижение затрат на обслуживание насоса
Чиллеры используют магнитный насос без механического уплотнения, и проблемы с протечкой уплотнения вала отсутствуют, поэтому нет необходимости регулярно проверять утечки насоса или заменять механическое уплотнение, что значительно снижает эксплуатационные расходы насоса.
8. Функция связи
Протоколы связи многоканального процессного чиллера включают интерфейс RS485 с протоколом Modbus RTU и интерфейс Ethernet с протоколом TCP/IP.
9. Удобный для пользователя сенсорный экран
Этот многоканальный рециркуляционный чиллер использует индивидуальный цветной сенсорный экран, который не только отображает состояние работы оборудования в реальном времени, но и позволяет в реальном времени контролировать аномальные условия при эксплуатации оборудования. Интерфейс управления простой и понятный, а настройки можно выполнять с помощью простых жестов и скользящих движений.
10. Глобальная сеть поставок
LNEYA имеет всестороннюю сеть на мировом рынке, и её чиллеры экспортируются в более чем 30 стран и регионов по всему миру. В многих странах, таких как США, Канада, Австралия, Россия, Южная Корея и др., у неё есть агенты. Поэтому мы можем предоставлять наши чиллеры и высококачественные услуги по всему миру.
Применение многоканальных чиллеров
Многоканальные охладители FLTZ широко используются в полупроводниковой промышленности благодаря таким преимуществам, как точный контроль температуры, независимое управление цепями и быстрый охлаждение. Сценарии применения полупроводниковых охладителей включают производство пластин, упаковочные испытания, фотолитографию, травление, осаждение CVD/PVD, процессы очистки и другие.
• Фотолитография
Система экспозиции, оптические линзы, лазерные источники света и маски для фотолитографической машины требуют точного контроля температуры для обеспечения точности рисунка.
• Травление
Во время плазменного травления (RIE, ICP и т. д.) камера и электроды должны быть строго контролируемыми по температуре для обеспечения равномерности травления. Чиллер может обеспечить стабильную температурную среду для оборудования для травления и уменьшить отклонения процесса.
• Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) / Физическое осаждение из паровой фазы (PVD)
CVD (такие как LPCVD, PECVD) и PVD (такие как распыление покрытия) используются для осаждения тонких пленок, и контроль температуры камеры и подложки влияет на качество пленки.
• Ионная имплантация
Высокоэнергетический пучок частиц, создаваемый при ионной имплантации, может вызвать локальные высокие температуры. Процессный чиллер может быстро удалить тепло, чтобы предотвратить термическое повреждение пластины.
• Отжиг
Во время процесса отжига чиллер должен динамически регулировать скорость охлаждения, чтобы оптимизировать эффективность активации легированных атомов.
• Мокрая очистка
Используется для поддержания деминерализованной воды в пределах определенного температурного диапазона, чтобы удалить остатки фоторезиста, металлические загрязнения и частицы.
• Упаковка чипов
В процессе упаковки BGA, CSP, FCBGA и других типов упаковки, контроль температуры при сварке и упаковке материалов влияет на надежность.
Многоканальные чиллеры Specification
| Модель | FLTZ-203W-2T | |
| Pipeline | Канал 1 | Канал 2 |
| Диапазон температур | -20℃～+90℃ | -20℃～+90℃ |
| Мощность охлаждения | ±0,1℃（Настраиваемая точность контроля температуры ±0,01℃） | |
| Мощность нагрева | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| Расход теплоносителя | 2 кВт | 2 кВт |
| Размер подключения теплоносителя | 20L/min 0.5MPa | 20L/min 0.5MPa |
| Интерфейс теплообмена | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Температура окружающей среды | 10～35℃ | 10～35℃ |
| Влажность окружающей среды | 30～70% | 30～70% |
| Температура охлаждающей воды | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Расход охлаждающей воды | 20 л/мин | 20 л/мин |
| Вес | 400 кг | |
| Размер（см） | 50*90*160 | |
| Модель | FLTZ-406W/ETCU-015W | |
| Pipeline | Канал 1 | Канал 2 |
| Диапазон температур | -45℃～+40℃ | +10℃～+80℃ |
| Мощность охлаждения | ±0,1℃（Настраиваемая точность контроля температуры ±0,01℃） | |
| Мощность нагрева | 11kW@-20℃ 5kW@-40℃ | 13kW@+10℃ |
| Расход теплоносителя | 2 кВт | 6 кВт |
| Размер подключения теплоносителя | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa |
| Интерфейс теплообмена | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Температура окружающей среды | 10～35℃ | 10～35℃ |
| Влажность окружающей среды | 30～70% | 30～70% |
| Температура охлаждающей воды | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Расход охлаждающей воды | 40L/min | 20 л/мин |
| Вес | 550kg | |
| Размер（см） | 60*100*185 | |
| Модель | FLTZ-203W/2T двухсистемный | FLTZ-305W/2T двухсистемный | FLTZ-406W/2T двухсистемный | |||
| Диапазон температур | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| Точность контроля температуры | ±0,1℃（Настраиваемая точность контроля температуры ±0,01℃） | |||||
| Расход теплоносителя | 15~45l/min 6bar max | |||||
| Мощность нагрева | 2,5 кВт | 2,5 кВт | 2,5 кВт | 2,5 кВт | 3,5 кВт | 3,5 кВт |
| Мощность охлаждения | 3kW @-15℃ | 3kW @-15℃ | 5kW @-15℃ | 5kW @-15℃ | 2.5kW @ -35℃ | 2.5kW @ -35℃ |
| Объем жидкости внутренней циркуляции | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| Интерфейс охлаждающей воды | 50L/min at20℃ | 600L/min at20℃ | 50L/min at20℃ | |||
| Модель | FLTZ-203W/ETCU-008W | ||
| Pipeline | Канал 1 | Канал 2 | Канал 3 |
| Диапазон температур | -10℃～+60℃ | +30℃～+80℃ | -10℃～+80℃ |
| Стабильность температуры | ±0,1℃（Настраиваемая точность контроля температуры ±0,01℃） | ||
| Мощность охлаждения | 4kW@-10℃/21kW@+20℃ | 6 kW@+30℃ | 3kW@-10℃ |
| Мощность нагрева | 4 кВт | 4.5+6kW | 3 кВт |
| Расход теплоносителя | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa |
| Размер подключения теплоносителя | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Температура окружающей среды | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| Влажность окружающей среды | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Расход охлаждающей воды | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Температура охлаждающей воды | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Автоматический выключатель | 100A | ||
| Вес | 600kg | ||
| Размер（см） | 60*100*170 | ||
| Модель | FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W | ||
| Pipeline | Канал 1 | Канал 2 | Канал 3 |
| Диапазон температур | -20℃～+50℃ | +30℃～+100℃ | +30℃～+40℃ |
| Стабильность температуры | ±0,1℃（Настраиваемая точность контроля температуры ±0,01℃） | ||
| Мощность охлаждения | 15kW@-10℃ | 13kW@PCW+15℃ | 8kW@PCW+10℃ |
| Мощность нагрева | 2 кВт | 6 кВт | Pump Heat Loss |
| Расход теплоносителя | 30L/min 0.85MPa | 30L/min 0.85MPa | 20L/min 0.8MPa |
| Размер подключения теплоносителя | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Температура окружающей среды | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| Влажность окружающей среды | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Расход охлаждающей воды | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Температура охлаждающей воды | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Автоматический выключатель | 75A | ||
| Вес | 600kg | ||
| Размер（см） | 60*100*170 | ||
Связанные с многоканальными чиллерами одноканальные продукты
Когда вам нужен многоканальный чиллер FLTZ?
Если вам нужно независимое управление температурой для нескольких различных устройств или процессов, и вы не хотите покупать несколько независимых охладителей, то многоканальные охладители FLTZ — это очень идеальный выбор.
Получите подробное предложение бесплатно！
почему выбрать LNEYA?
Компания LNEYA была основана в Уси, Китай, в 2010 году. В настоящее время площадь завода составляет 25 000㎡
с ежегодным выпуском 5 000 единиц и объемом производства более 300 миллионов на протяжении двух последовательных лет.
С момента своего основания LNEYA сосредоточилась на предоставлении услуг по контролю высокой и низкой температуры, сверхнизкой температуры и точного контроля температуры для полупроводников, фармацевтической химии, новой энергетики, аэрокосмической отрасли и других отраслей.
Мы обслужили более 30 000 клиентов по всему миру и имеем более 130 патентов.
Наши чиллеры были выбраны для более чем 100 лабораторных проектов университетов по всему миру и экспортированы в более чем 20 стран. У нас есть агенты в различных странах и регионах Европы.
ЧАСТО ЗАДАВАЕМЫЕ ВОПРОСЫ
СВЯЗАТЬСЯ С НАМИ
TEL：
EMAIL：
WeChat & WhatsApp：
Wechat QR
