Поиск по всей станции
or vacuum chuck
LNEYA provides 8-inch and 12-inch vacuum chucks and non-standard customized square cold plates, supporting a temperature range of -70℃~+200℃, and can also customize various other temperature ranges, built-in multiple temperature sensors, multi-zone temperature control, precise FID adjustment and temperature control; supports direct cooling, liquid cooling, and air cooling.
Various temperature ranges can be customized
Самый низкий
Самый высокий
Точность контроля температуры
| Диапазон температур | -70℃~200℃ (Can be customized in various temperature ranges) |
| Равномерность температуры | 土0.5℃ |
| Heating rate | -55℃~+25℃：12min -40℃~+25℃：10 min +25℃~+150℃：20 min +25℃~+200℃：28 min +25℃~+300℃：40 min |
| Скорость охлаждения | +150℃~+25℃：25 min +200℃~+25℃：30 min +300℃~+25℃：40 min +25℃~0℃：15 min +25℃~-40℃：35 min +25℃~-55℃：65 min |
| Метод охлаждения | Direct cooling system/liquid cooling system/air cooling system |
| Wafer adsorption type | Vacuum adsorption |
| Chuck size | φ330*58mm |
| Power supply 220V 50HZ | 200~230V AC50/60HZ 16A max |
KSD -75℃~200℃
Скорость охлаждения при нагревании До 50 ℃/мин
Точность температуры ±0,2℃
ZLJ & SLJ -150℃～-110℃
Мощность охлаждения 0,4 кВт ~ 11 кВт
точность температуры ±1℃
MD -75℃～225℃
Нагрев и охлаждение -60°C до +25°C: 2 мин &+25°C до -60°C: 6 мин
точность температуры ±0,5℃
Обслужил более 30 000 клиентов.
Экспортируется в более чем 20 стран.
Прошла сертификацию CE, SGS, ISO.
Обеспечьте комплексное техническое обучение.
Круглосуточные решения.
Основана в 2010 году, имеет 15-летний опыт работы в отрасли.
20% сотрудников - это технические специалисты.
Визуальный осмотр.
Тест на производительность.
Тест на электробезопасность.
Свяжитесь с нашими экспертами по тематическим частям
Связаться с ЛНЕЙЯ
Отправьте нам свой запрос, и мы свяжемся с вами в течение 24 часов
LNEYA Промышленные чиллеры Производитель Поставщик
