Поиск по всей станции
FLTZ 5℃~90℃
Термальные чиллеры LNEYA разработаны для сложных задач температурного контроля и помогают вашему бизнесу благодаря профессиональным технологиям.
Серия FLTZ 5℃~90℃ предлагает промышленные и технологические термочиллеры с точным контролем температуры. Эти чиллеры поддерживают температуру в пределах ±0.05℃, обеспечивая стабильную работу для чувствительных промышленных процессов.
Каждый блок оснащён цветным сенсорным экраном, который отображает ключевую информацию в режиме реального времени. Вы можете контролировать температуру в контрольных точках, входное и выходное давление, температуру конденсации и охлаждающей воды, параметры жидкости и газа, энергопотребление и уровень воды в баке. Это помогает отслеживать работу и быстро реагировать на изменения.
Термочиллеры FLTZ 5℃~90℃ поддерживают системную интеграцию и дистанционное управление. Вы можете подключить чиллер к своему оборудованию, чтобы контролировать работу и регулировать параметры на расстоянии. Компактная конструкция экономит место на полу и обеспечивает гибкие варианты установки для различных промышленных конфигураций.
| Модель | FLTZ-002 FLTZ-002W | FLTZ-003 FLTZ-003W | FLTZ-004 FLTZ-004W | FLTZ-006 FLTZ-006W | FLTZ-008 FLTZ-008W | FLTZ-010 FLTZ-010W | FLTZ-015 FLTZ-015W |
| Диапазон температур | 5℃～90℃ | ||||||
| Точность контроля температуры | ±0.05℃（Температура на выходе в установившемся режиме） | ||||||
| Cooling capacity @10℃ | 6 кВт | 8 кВт | 10 кВт | 15 кВт | 20 кВт | 25 кВт | 40 кВт |
| Внутренний объем циркулирующей жидкости | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Объем расширительного бака | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Хладагент | R410A | ||||||
| Холодильная среда | Силиконовое масло, фторсодержащая жидкость, водный раствор полиола, DI и др. (температуру DI необходимо поддерживать выше 10℃) | ||||||
| Размер соединения | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Размер подключения охлаждающей воды | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Расход охлаждающей воды @20℃ | 1.5m³/h | 2m³/h | 2.5m³/h | 4m³/h | 4.5m³/h | 5.6m³/h | 9m³/h |
| Размер（см） | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
| Управление температурой процесса | Удаленная температура цели может быть контролируется путем объединения самостоятельно созданной модели бесплатно себя построенный алгоритм дерева и каскадный алгоритм | ||||||
Он может удовлетворять самым строгим требованиям процессов в производстве полупроводников. Например, в процессе фотолитографии любое небольшое колебание температуры приведёт к термическому деформированию оптической системы, а стабильность температуры напрямую определяет успех или неудачу точности экспозиции.
Он постепенно заменил вещества, разрушающие озоновый слой, такие как R22, соответствуя требованиям переходного периода Монреальского протокола.
Один прибор заменяет традиционную раздельную систему нагрева/охлаждения, сокращая занимаемую площадь оборудования, и может обеспечивать быстрые изменения температуры без смены среды, повышая эффективность производства.
Высокая повторяемость результатов управления является ключевым показателем производительности чиллеров для полупроводниковых процессов. Эта характеристика напрямую определяет выход продукции и стабильность процесса при производстве чипов.
Точный контроль температуры достигается за счёт утилизации отходящего тепла в холодильном цикле, что отражает передовую концепцию проектирования с оптимизацией энергоэффективности и интеграцией системы.
Используются компрессоры, вентиляторы и насосы с регулированием частоты для автоматического контроля потока и давления, что снижает потребление энергии.
Термочиллер FLTZ 5℃~90℃ широко используется в полупроводниковых приложениях, требующих двустороннего контроля температуры, благодаря своему широкому диапазону температур.
Очистка пластин
Очистка пластин требует использования химических жидкостей, таких как SC1 (аммиак + перекись водорода) и SC2 (соляная кислота + перекись водорода), для очистки пластины, и температура реакции должна стабильно контролироваться в пределах 25℃-80℃. Чиллер помогает контролировать температуру в моющем резервуаре, чтобы избежать термических напряжений, вызывающих деформацию пластины, и предотвратить перегрев насосного блока.
Фотолитография
DUV/EUV литографические машины чрезвычайно чувствительны к колебаниям температуры, поэтому после нанесения фоторезиста необходимо поддерживать определённую среду с постоянной температурой. Полупроводниковые чиллеры могут обеспечить постоянную температурную среду для литографических машин.
Травление
Во время сухого травления источник питания СВЧ-камеры должен охлаждаться в определённом температурном диапазоне, чтобы предотвратить перегрев и смещение параметров процесса.
Обслужено более 30 000 клиентов.
Экспорт в более чем 20 стран.
Получены сертификаты CE, SGS и ISO
Предоставление комплексного технического обучения.
Круглосуточные решения.
Основана в 2010 году, с 15-летним опытом работы в отрасли.
20% сотрудников — технические специалисты.
Визуальный осмотр.
Тестирование производительности.
Проверка электрической безопасности.
TEL：
EMAIL：
WeChat & WhatsApp：
Заполните форму, и наша команда свяжется с вами в ближайшее время.
LNEYA Промышленные чиллеры Производитель Поставщик
