LTS -60℃～80℃ Система фторидного охлаждения

Контроль температуры при производстве полупроводников

Системы динамического контроля температуры Система контроля температуры фторированной жидкости Чиллеры для испытаний полупроводников

Управление потоком12L / мин ~ 45L / мин
Точность температуры±0.1℃ при-60℃~-30℃
Внутренняя циркулирующая жидкость4L ~ 10L
Расширительный бак10L ~ 20L
Место происхожденияКитай

система динамического контроля температуры Контроль температуры фторированной жидкости серия LTS полупроводниковый испытательный чиллер

ЗАПРОС

Загрузка данных о продукте

manual.pdf

Подробные параметры

Модель	ЛТС-602	ЛТС-603	ЛТС-604	ЛТС-606	ЛТС-608
	ЛТС-602В	ЛТС-603В	ЛТС-604В	ЛТС-606В	ЛТС-608В
Диапазон температур	-60℃～-20℃
Точность контроля температуры	±0.1 ℃ -60 ℃～-30 ℃
Управление потоком	7～25л/мин		12～45л/мин
	Регулятор расхода использует регулировку преобразователя частоты, а скорость регулируется автоматически в соответствии с сигналом обратной связи датчика расхода. Максимальное давление циркуляционного насоса составляет 5 бар.
Объем внутренней циркулирующей жидкости	4L	5L	6L	8L	10L
Объем расширительного бачка	10L	10L	15L	15L	20L
Отображение давления в системе	Давление холодильной системы реализуется стрелочным манометром (высокое давление, низкое давление)
	Положение выходного отверстия для измерения давления в системе кровообращения определяется датчиком давления и отображается на сенсорном экране.
контроллер	ПЛК, алгоритм нечеткого ПИД-управления, с алгоритмом каскадного управления
Контроль температуры	Режим регулирования температуры теплоносителя на выходе
	Внешний датчик температуры: (PT100 или 4～20 мА или настройка связи) режим управления (каскадное управление)
Письмо-соглашение	Ethernet-интерфейс Протокол TCP/IP
	Интерфейс RS485 протокол Modbus RTU
Обратная связь по внутренней температуре оборудования	Температура теплоносителя оборудования на выходе, температура среды на входе, температура конденсации холодильной системы, температура окружающей среды, температура всасывания компрессора, температура охлаждающей воды (доступно для оборудования с водяным охлаждением)
Система замкнутой циркуляции	Вся система представляет собой полностью закрытую систему, низкая температура не поглощает влагу из воздуха, не испаряет теплоноситель, а низкая температура автоматически дополняет теплоноситель в циркуляционную систему.
Компрессор	Гибкий спиральный компрессор Emerson Copeland/Danfoss
Циркуляционный насос	Магнитный циркуляционный насос
Испаритель	Пластинчатый теплообменник
Конденсатор	Микроканальный конденсатор (с воздушным охлаждением)
	Пластинчатый теплообменник (с водяным охлаждением), особое внимание: требуется чистая заводская вода
Холодильные аксессуары	Принадлежности Danfoss/Emerson (фильтр-осушитель, маслоотделитель, предохранитель высокого и низкого давления, расширительный клапан)
Панель управления	Wuxi Guanya настроенный 7-дюймовый цветной сенсорный экран, отображение кривой температуры \ экспорт данных EXCEL
Безопасность	С функцией самодиагностики; защита от обрыва фазы чередования фаз, защита от перегрузки холодильной машины; реле высокого давления, реле перегрузки, устройство тепловой защиты и другие функции безопасности.
Входной и выходной размер интерфейса	ZG1 / 2	ZG1 / 2	ZG3 / 4	ZG3 / 4	ZG3 / 4

описание продукта

Он широко используется в процессе производства полупроводников для контроля температуры реакционной камеры, температуры радиатора и контроля температуры негорючей жидкости теплоносителя.

1. Испытание на выдерживание давления в системе циркуляции среды составляет 7 бар.
2. Используйте высококачественный магнитный насос без механического уплотнения вала.
3. Оптимизируйте выборку температуры и скорость отклика, специально разработанный алгоритм управления, который может быстро реагировать на стабильный контроль температуры.
4. Улучшить конструкцию производительности циркуляционного насоса, чтобы удовлетворить требования системы к высокому подъему.
5. Технология непрерывного высокотемпературного охлаждения отвечает требованиям стабильной работы, когда тепло передается на пластину радиатора, и требует постоянного контроля температуры охлаждения и нагрева.
6. Ввиду летучих характеристик фторированной жидкости конструкция соединения и конструкция уплотнения системы усилены для обеспечения срока службы среды.