Полупроводниковые чиллеры

Устройство контроля температуры полупроводников Чиллер в основном используется для точного контроля температуры в процессах производства и испытаний полупроводников.

Его продукция включает контроль температуры жидкости фторированной жидкости (минимум -100 ° C), быстрое изменение температуры охлаждения и нагрева газа, патрон быстрого изменения температуры, низкотемпературную газовую холодильную машину (-120 ° C), холодильную установку прямого охлаждения (-150 ° C). ° C) и т. д. Компания применяет в системе различные алгоритмы (ПИД, ПИД с прямой связью и алгоритм построения дерева без модели) для достижения быстрого отклика и высокой точности управления.