LNEYA Промышленные чиллеры Производитель Поставщик
ЧАСТО ЗАДАВАЕМЫЕ ВОПРОСЫ
Can’t find a suitable single channel chiller? Contact us now to get chiller details and prices
Свяжитесь с LNEYA®
Отправьте нам свой запрос, и мы свяжемся с вами в течение 24 часов
Single channel chillers
FLTZ -45℃~90℃
FLTZ single channel chiller easily achieves independent and precise temperature control for multiple fluid channels, with a temperature control accuracy of up to ±0.1℃, widely applied in the semiconductor industry.
fltz series
-45°C
Самый низкий
90°C
Самый высокий
±0.1℃
Точность контроля температуры
Contact LNEYA sales engineer for catalog or price.
| Модель | FLTZ-002 FLTZ-002W |
FLTZ-003 FLTZ-003W |
FLTZ-004 FLTZ-004W |
FLTZ-006 FLTZ-006W |
FLTZ-008 FLTZ-008W |
FLTZ-010 FLTZ-010W |
FLTZ-015 FLTZ-015W |
| Диапазон температур | 5℃～90℃ | ||||||
| Точность контроля температуры | ±0.1℃（Customizable temperature control accuracy of ±0.01°C.） | ||||||
| Охлаждающая способность @10℃ | 6 кВт | 8 кВт | 10 кВт | 15 кВт | 20 кВт | 25 кВт | 40 кВт |
| Внутренний объем циркулирующей жидкости | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Объем расширительного бака | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Хладагент | R410A | ||||||
| Холодильная среда | Силиконовое масло, фторированная жидкость, водный раствор полиола, DI и т.д. (температура DI должна контролироваться выше 10 ℃). | ||||||
| Поток охлаждающей воды @20℃ | 1,5 м³/ч | 2 м³/ч | 2,5 м³/ч | 4 м³/ч | 4,5 м³/ч | 5,6 м³/ч | 9 м³/ч |
| Размер см | 95*38*106 | 95*38*106 | 950*380*106 | 98*43*140 | 98*43*140 | 108*60*150 | 108*60*150 |
| Модель | FLTZ-202 FLTZ-202W |
FLTZ-203 FLTZ-203W |
FLTZ-204 FLTZ-204W |
FLTZ-206 FLTZ-206W |
FLTZ-208 FLTZ-208W |
FLTZ-210 FLTZ-210W |
FLTZ-215 FLTZ-215W |
| Диапазон температур | -25℃～90℃ | ||||||
| Точность контроля температуры | ±0.1℃（Customizable temperature control accuracy of ±0.01°C.） | ||||||
| Поток МАКС. | 10～25L/min | 15～45L/min | 25～75L/min | ||||
| Охлаждающая способность @-15℃ | 2 кВт | 3 кВт | 3,8 кВт | 6 кВт | 7,6 кВт | 10 кВт | 15 кВт |
| Внутренний объем циркулирующей жидкости | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Объем расширительного бака | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Хладагент | R404A | ||||||
| Холодильная среда | Silicone oil, fluorinated fluid, glycol-water solution, etc. | ||||||
| Поток охлаждающей воды @20℃ | 1,2 м³/час | 1,6 м³/час | 2,6 м³/час | 3,6 м³/час | 5.5m³/H | 7 м³/час | 10,2 м³/час |
| Размер см | 95*38*106 | 95*38*106 | 95*38*106 | 98*43*140 | 98*43*140 | 108*60*150 | 108*60*150 |
| Модель | FLTZ-402 FLTZ-402W |
FLTZ-403 FLTZ-403W |
FLTZ-404 FLTZ-404W |
FLTZ-406 FLTZ-406W |
FLTZ-408 FLTZ-408W |
FLTZ-410 FLTZ-410W |
FLTZ-415 FLTZ-415W |
| Диапазон температур | -45℃～90℃ | ||||||
| Точность контроля температуры | ±0.1℃（Customizable temperature control accuracy of ±0.01°C.） | ||||||
| Поток МАКС. | 10～25L/min 5bar max | 15～45L/min 5bar max | 25～75L/min 5bar max | ||||
| Отопление | Uses compressor heat to prevent condenser frost. | ||||||
| Охлаждающая способность @-35℃ | 1 кВт | 1,4 кВт | 1,8 кВт | 2,5 кВт | 3,3 кВт | 5 кВт | 8 кВт |
| Внутренний объем циркулирующей жидкости | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Объем расширительного бака | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Хладагент | R404A | ||||||
| Холодильная среда | Silicone oil, fluorinated fluid, glycol-water solution, etc. | ||||||
| Поток охлаждающей воды @20℃ | 1.5m³/H | 2,4 м³/час | 3.5m³/H | 5 м³/час | 5.5m³/H | 6 м³/час | 8 м³/час |
| Размер см | 95*38*106 | 95*38*106 | 95*38*106 | 98*43*140 | 98*43*140 | 108*50*150 | 108*50*150 |
| Модель | FLTZ-803W | FLTZ-805W | FLTZ-806W | FLTZ-808W | FLTZ-810W |
| Диапазон температур | -80℃～+90℃ | ||||
| Точность контроля температуры | ±0.1℃（Customizable temperature control accuracy of ±0.01°C.） | ||||
| Поток МАКС. | 7～25L/min 5bar | 12～45L/min 6bar | |||
| Cooling capacity @-70℃ | 0,6 кВт | 1 кВт | 1,5 кВт | 2 кВт | 3 кВт |
| Мощность нагрева | 2 кВт | 2 кВт | 2 кВт | 3,5 кВт | 3,5 кВт |
| Внутренний объем циркулирующей жидкости | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
| Объем расширительного бака | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
| Хладагент | Fluorinated fluids | ||||
| Поток охлаждающей воды @20℃ | 1.8m3/h | 2.5m3/h | 3 м3/ч | 5 м3/ч | 6 м3/ч |
| Circuit Breakers | 25A | 25A | 32A | 40A | 50A |
| Модель | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W |
| Диапазон температур | -100℃～+90℃ | |
| Точность контроля температуры | ±0.1℃（Customizable temperature control accuracy of ±0.01°C.） | |
| Контроль потока | 7～25L/min | 12～45L/min |
| Охлаждающая способность при 90℃ | 1,5 кВт | 3 кВт |
| Мощность нагрева | 3,5 кВт | 5,5 кВт |
| Внутренний объем циркулирующей жидкости | 5L | 8L |
| Объем расширительного бака | 10L | 15L |
| Теплопроводящая среда | Фторированная жидкость | |
| Охлаждающая вода при температуре 20℃ | 50 л/мин 2бар~7бар | 100 л/мин 2бар~7бар |
|
Модель |
FLTZ-001S |
FLTZ-002S |
FLTZ-003S |
FLTZ-004S |
FLTZ-006S |
FLTZ-008WS |
FLTZ-010WS |
|
Диапазон температур |
15℃～25℃ |
||||||
|
Точность регулирования температуры |
±0.005℃ Temperature control accuracy at the equipment outlet |
||||||
|
Flow Rate |
7L/min 3bar |
15L/min at 4bar |
30L/min at 4bar |
75L/min at 4bar |
|||
|
Мощность нагрева |
Technology of using compressor heating to prevent condenser frosting |
||||||
|
Мощность охлаждения @20℃ |
3 кВт |
7 кВт |
10.5kw |
14 kw |
21 кВт |
28kw |
35 кВт |
|
Liquid Storage Capacity |
8L |
15L |
20L |
30L |
50L |
60L |
80L |
|
Хладагент |
R1234fa （ODP=0 GWP=4） |
||||||
|
Secondary Refrigerant(Coolant) |
Purified Water |
||||||
Single-channel chillers are primarily used for precise temperature control in semiconductor production and testing. The company utilizes multiple algorithms (PID, feedforward PID, and model-free self-building tree algorithms) to achieve fast response and high control accuracy.
Under load, the system offers high temperature control accuracy, allowing for flexible switching between -100°C and +90°C with excellent temperature compliance. Advanced low-temperature refrigeration technology supports ultra-low temperature control from -100°C to -80°C.
Single Channel Chiller Applications
Для оборудования для испытаний на старение
Соответствующая система термической сушки обеспечивает температуру охлаждения и нагрева, повышает эффективность испытаний и качество кристаллов пластин, а также имеет небольшую погрешность температурной точности.
Для оборудования для тестирования микросхем
Тепловой охладитель согласован с испытательной машиной с точностью регулирования температуры ±0,05℃, что повышает эффективность испытаний микросхем в институте.
Для полупроводниковой фабрики
Технологический охладитель используется на заводах по производству полупроводников с высокоточным контролем температуры охлаждения и нагрева, что повышает скорость производства пластин и снижает процент брака.
Why Choose LNEYA® ?
The semiconductor industry has very strict requirements on temperature control accuracy. Many process steps are extremely sensitive to temperature changes. The performance and quality of the products rely on high-precision semiconductor chillers. LNEYA provides professional thermal management solutions for the semiconductor industry.
Очень широкий диапазон температур, нет необходимости заменять жидкую среду;
Эффективная стабильность производства и повторяемость результатов;
Технология высокотемпературного охлаждения, непосредственно запускает компрессор для охлаждения при температуре 300 ℃.
Полностью закрытая система, продлевающая срок службы теплопроводных жидкостей;
Использование пластинчатых теплообменников и трубопроводных нагревателей для повышения скорости охлаждения и нагрева;
Contact LNEYA® chiller sales
Representative to obtain a standard product catalog and sample book for semiconductor chillers, or customize your chiller.
Добавьте нашего менеджера по работе с клиентами с помощью QR-кода ниже
WeChat/телефон
18914253067
+86 18914253067
Адрес электронной почты
market@lneya.com
