Чиллер для полупроводников с точным контролем температуры

Обзор чиллеров для полупроводников

Полупроводниковая промышленность требует исключительно точного контроля температуры. Многие этапы производства и тестирования чрезвычайно чувствительны даже к небольшим изменениям температуры. Производительность продукта и выход зависят от стабильных, высокоточных охлаждающих систем.
 
LNEYA — ведущий производитель передовых чиллеров для полупроводниковых приложений. С 2010 года мы поставляем надежное оборудование для контроля температуры для обработки, упаковки и тестирования ваферов. Наш ассортимент продукции включает как стандартные, так и индивидуально разработанные чиллеры, обеспечивающие точную и повторяемую работу.
 
Для специализированных процессов мы можем адаптировать охлаждающее решение под ваши требования по диапазону температур, мощности и интерфейсу управления.
 
Свяжитесь с нашей инженерной командой, чтобы запросить каталог продукции или получить предложение для вашей системы охлаждения полупроводников.

LNEYA® Semiconductor Chillers Characteristics

• Высокая эффективность, стабильное производство и повторяемые результаты.
• Используйте пластинчатый теплообменник и трубчатый обогреватель для повышения скорости охлаждения и нагрева.
• Extremely wide temperature range（-150℃ to +350℃）, no need to change liquid medium.
• Полностью закрытая система для продления срока службы теплового флюида.
• Используйте насос с магнитным приводом, без проблем с утечкой вала.
• High temperature cooling technology, 300℃ direct start compressor cooling.

Применения чиллеров для полупроводников

Semiconductor manufacturing demands stable and precise cooling systems. A reliable semiconductor chiller helps control temperature during wafer processing, etching, and testing. At LNEYA, we design semiconductor chillers with high temperature accuracy, wide range operation, and reliable long-term stability.
 
Semiconductor manufacturing requires extremely stable environmental conditions. Even a small temperature drift can affect product yield and device reliability. A semiconductor chiller provides precise temperature control during critical process steps such as wafer packaging, testing, and fabrication.
 
These chillers are widely used for process cooling in semiconductor fabs and metrology systems. They help stabilize CMOS and CCD sensors, maintain temperature in AOI inspection systems, and provide independent cooling for chamber walls during plasma etching or thin-film deposition.
 
В таких приложениях, как термическое атомное слойное травление металла вольфрама, стабильное охлаждение обеспечивает повторяемые результаты и продлевает срок службы оборудования.