LNEYA Промышленные охладители Производитель Поставщик -
FLTZ Variable Frequency Series Multi-channel Chillers
ПРИЛОЖЕНИЯ
Semiconductor air cooling & water cooling Chiller is mainly used for precise temperature control in semiconductor production and testing. Products include fluid fluorinated liquid temperature control (minimum -100 degrees), gas hot and cold rapid temperature change, rapid temperature change chuck, low temperature gas refrigerator (-120 degrees), direct cooling refrigeration unit (-150 degrees), etc. The company applies a variety of algorithms (PID, feedforward PID, model-free self-building algorithm) in the system to achieve fast system response and high control accuracy.
Параметры продукта
FLTZ -20℃～+90℃
| Модель | FLTZ-203W-2T | |
| Pipeline | channel 1 | channel 2 |
| Диапазон температур | -20℃～+90℃ | -20℃～+90℃ |
| Мощность охлаждения | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| Мощность нагрева | 2 кВт | 2 кВт |
| Heat conducting medium flow rate | 20L/min@0.5MPa | 20L/min@0.5MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Ambient temperature | 10～35℃ | 10～35℃ |
| Ambient humidity | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Температура охлаждающей воды | 20 л/мин | 20 л/мин |
| Автоматический выключатель | 30A | |
| Вес | 400 кг | |
| Размер см | 500*900*1600 | |
FLTZ -45℃～+40℃
| Модель | FLTZ-406W/ETCU-015W | |
| Pipeline | channel 1 | channel 2 |
| Диапазон температур | -45℃～+40℃ | +10℃～+80℃ |
| Мощность охлаждения | 11kW@-20℃ 5kW@-40℃ |
13kW@+10℃ |
| Мощность нагрева | 2 кВт | 6 кВт |
| Heat conducting medium flow rate | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Ambient temperature | 10～35℃ | 10～35℃ |
| Ambient humidity | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Температура охлаждающей воды | 40L/min | 20 л/мин |
| Автоматический выключатель | 80A | |
| Вес | 550kg | |
| Размер см | 600*1000*1850 | |
FLTZ -10℃～+80℃
| Модель | FLTZ-203W/ETCU-008W | ||
| Pipeline | channel 1 | channel 2 | channel 3 |
| Диапазон температур | -10℃～+60℃ | +30℃～+80℃ | -10℃～+80℃ |
| Мощность охлаждения | 4kW@-10℃/21kW@+20℃ | 6 kW@+30℃ | 3kW@-10℃ |
| Мощность нагрева | 4 кВт | 4.5+6kW | 3 кВт |
| Heat conducting medium flow rate | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Ambient temperature | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| Ambient humidity | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Температура охлаждающей воды | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Автоматический выключатель | 100A | ||
| Вес | 600kg | ||
| Размер см | 600*1000*1700 | ||
FLTZ -20℃～+50℃
| Модель | FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W | ||
| Pipeline | channel 1 | channel 2 | channel 3 |
| Диапазон температур | -20℃～+50℃ | +30℃～+100℃ | +30℃～+40℃ |
| Мощность охлаждения | 15kW@-10℃ | 13kW@PCW+15℃ | 8kW@PCW+10℃ |
| Мощность нагрева | 2 кВт | 6 кВт | Pump Heat Loss |
| Heat conducting medium flow rate | 30L/min@0.85MPa | 30L/min@0.85MPa | 20L/min@0.8MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Ambient temperature | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| Ambient humidity | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Температура охлаждающей воды | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Автоматический выключатель | 75A | ||
| Вес | 600kg | ||
| Размер см | 600*1000*1700 | ||
FLTZ -45℃~90℃
| Модель | FLTZ-203W/2T dual system | FLTZ-305W/2T dual system | FLTZ-406W/2T dual system | |||
| Диапазон температур | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| Heat conducting medium flow rate | 15~45l/min 6bar max | |||||
| Мощность нагрева | 2,5 кВт | 2,5 кВт | 2,5 кВт | 2,5 кВт | 3,5 кВт | 3,5 кВт |
| Мощность охлаждения | 3kW at-15℃ | 3kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 2.5kW at -35℃ | 2.5kW at -35℃ |
| Объем жидкости внутренней циркуляции | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| Объем расширительного бака | 15L | 25L | 25L | |||
| Heat-conducting medium | Fluorinated liquid, antifreeze, thermal conductive silicone oil, etc | |||||
| Хладагент | R404A/ R448 | |||||
| Heat-conducting medium interface | ZG3/4 | |||||
| Интерфейс охлаждающей воды | ZG3/4 | |||||
| Интерфейс охлаждающей воды | 50L/min at20℃ | 600L/min at20℃ | 50L/min at20℃ | |||
| Мощность | Three phase 220V/Three phase 400V/Three phase 460V | |||||
Product Advantages
- Эффективная стабильность производства и повторяемость результатов;
- Использование пластинчатых теплообменников и трубопроводных нагревателей для повышения скорости охлаждения и нагрева;
- Очень широкий диапазон температур, нет необходимости заменять жидкую среду;
- Полностью закрытая система, продлевающая срок службы теплопроводных жидкостей;
- Благодаря магнитному приводу насоса отсутствует проблема утечки уплотнения вала;
- Технология высокотемпературного охлаждения, непосредственно запускает компрессор для охлаждения при температуре 300 ℃.
Насос с переменной частотой позволяет регулировать циркуляционное гидравлическое давление и расход
client output signal
Communication function
ПРИЛОЖЕНИЯ
Устройство контроля температуры в полупроводниковом FAB-процессе
Производство полупроводников - это процесс с чрезвычайно высокими требованиями к окружающей среде, и многие этапы процесса очень чувствительны к температуре.
Точный контроль температуры позволяет обеспечить равномерную толщину и точный состав осажденных пленок, тем самым улучшая производительность и выход микросхем.
для процесса упаковки и тестирования полупроводников
Процесс упаковки и тестирования полупроводников является ключевым звеном в процессе производства полупроводников, включая тестирование пластин, упаковку чипов и тестирование после упаковки. Этот процесс требует не только высокой степени точности и надежности, но и строгого температурного контроля для обеспечения качества и производительности продукции.
Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.
Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.
Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.
Одноканальный охладитель с воздушным охлаждением, предназначенный в основном для травильных машин. Он используется для обеспечения независимого контроля температуры боковых стенок камеры.
Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.
LNEYA provides customized Chiller services
custom chiller sizes
Whether it is portable, compact, large and small chillers, we can custom design them according to your requirements. No matter how many tons of chiller you need, we can create the best solution.
custom chiller types
We provide chillers of various refrigeration types, including but not limited to air-cooled, water-cooled and evaporative-condensing chillers. Regardless of the type of refrigeration compressor, we can design it according to your requirements.
custom temperature ranges
We can create a custom solution for temperatures from -150℃ to +350℃. Custom temperature ranges for specific industries.
custom chiller voltage
Customize chiller voltage and phase according to your needs. Optional 110V/60HZ, 220V/60HZ, 380V/50HZ, 220V/50HZ, 400V/50HZ, 460V/60HZ, 440V~480V/60HZ, etc.
Visit LNEYA factory
Why choose lneya as your temperature control supplier?
Years of experience
Satisfied Customers
m² Production Area
Patented Technologies
связаться с нами
Отправьте нам свой запрос, и мы свяжемся с вами в течение 24 часов
