LNEYA Промышленные охладители Производитель Поставщик -
ETCU Series Heat Exchange Chiller without compressor
ПРИЛОЖЕНИЯ
Multi-channel independent temperature control can have independent temperature range, cooling and heating capacity, heat transfer medium flow, etc., using two independent systems, choose steam compression refrigeration according to the required temperature range, or use ETCU compressor-free heat exchange system, the system can use expansion tank, condenser, cooling water system, etc., which can effectively reduce the size of equipment and reduce the operation steps.
Параметры продукта
| Модель | ETCU-005W | ETCU-015W | ETCU-030W | ETCU-050W | ETCU-100W | ETCU-200W | ETCU-300W |
| Диапазон температур | Температура охлаждающей воды +5℃~90℃ | ||||||
| Точность контроля температуры | ±0,05℃（Установившаяся температура на выходе） | ||||||
| Температура охлаждающей воды | 7℃~30℃ Cooling water flow is controlled by Siemens/Honeywell regulating valves | ||||||
| Мощность охлаждения | 5 кВт | 15 кВт | 30 кВт | 50 кВт | 100 кВт | 200 кВт | 300 кВт |
| Test conditions: When the maximum circulation amount, the temperature difference between the temperature control temperature and the cooling water temperature is 15℃ |
|||||||
| Циркуляционный насос | 7~20 л/мин 5 бар | 15~40 л/мин 5 бар | 20~60 л/мин 5 бар | 40~110 л/мин 5 бар | 150~250 л/мин 5 бар | 250~500 л/мин 5 бар | 400~650 л/мин 5 бар |
| Объем резервуара | 5L | 10L | 20L | 30L | 60L | 120L | 240L |
| Размер см | 480*750*390 | 480*750*390 | 480*750*500 | Настройка | Настройка | Настройка | Настройка |
Product Advantages
- Эффективная стабильность производства и повторяемость результатов;
- Использование пластинчатых теплообменников и трубопроводных нагревателей для повышения скорости охлаждения и нагрева;
- Очень широкий диапазон температур, нет необходимости заменять жидкую среду;
- Полностью закрытая система, продлевающая срок службы теплопроводных жидкостей;
- Благодаря магнитному приводу насоса отсутствует проблема утечки уплотнения вала;
- Технология высокотемпературного охлаждения, непосредственно запускает компрессор для охлаждения при температуре 300 ℃.
ПРИЛОЖЕНИЯ
Устройство контроля температуры в полупроводниковом FAB-процессе
Производство полупроводников - это процесс с чрезвычайно высокими требованиями к окружающей среде, и многие этапы процесса очень чувствительны к температуре.
Точный контроль температуры позволяет обеспечить равномерную толщину и точный состав осажденных пленок, тем самым улучшая производительность и выход микросхем.
для процесса упаковки и тестирования полупроводников
Процесс упаковки и тестирования полупроводников является ключевым звеном в процессе производства полупроводников, включая тестирование пластин, упаковку чипов и тестирование после упаковки. Этот процесс требует не только высокой степени точности и надежности, но и строгого температурного контроля для обеспечения качества и производительности продукции.
Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.
Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.
Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.
Одноканальный охладитель с воздушным охлаждением, предназначенный в основном для травильных машин. Он используется для обеспечения независимого контроля температуры боковых стенок камеры.
Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.
Насос с переменной частотой позволяет регулировать циркуляционное гидравлическое давление и расход
client output signal
Communication function
LNEYA provides customized services
custom ETCU sizes
Whether it is portable, compact, large and small chillers, we can custom design them according to your requirements. No matter how many tons of chiller you need, we can create the best solution.
custom ETCU types
We provide chillers of various refrigeration types, including but not limited to air-cooled, water-cooled and evaporative-condensing chillers. Regardless of the type of refrigeration compressor, we can design it according to your requirements.
custom temperature ranges
We can create a custom solution for temperatures from -150℃ to +350℃. Custom temperature ranges for specific industries.
custom ETCU voltage
Customize chiller voltage and phase according to your needs. Optional 110V/60HZ, 220V/60HZ, 380V/50HZ, 220V/50HZ, 400V/50HZ, 460V/60HZ, 440V~480V/60HZ, etc.
связаться с нами
Отправьте нам свой запрос, и мы свяжемся с вами в течение 24 часов
