LNEYA Промышленные чиллеры Производитель Поставщик
Все модели чиллеров для полупроводников
Охладитель Пельтье
TEC -20℃~90℃
ТОЧНОСТЬ ТЕМПЕРАТУРЫ ±0.1℃
Обеспечивает надежный и точный контроль температуры для процесса травления пластин
Температура точки росы
≤30℃
≤30℃
Напряжение электропитания
AC208V-DC250V
Напряжение электропитания
AC208V-DC250V
Напряжение электропитания
Температура активации CDA
＜30℃
＜30℃
Термоэлектрический чиллер Пельтье LNEYA с диапазоном температур от -20 до 90℃, специально разработанный для полупроводниковой промышленности;
Основываясь на проверенном принципе теплопроводности Пельтье, система температурного контроля Пельтье обеспечивает повторяемый контроль температуры для процессов плазменного травления; динамический контроль температуры электростатического зажима (ESC) позволяет использовать её для всех типов процессов травления.
TEC SERIES
-20°C
Самый низкий
90°C
Самый высокий
±0.1°C
Точность контроля температуры
| Модель | TEC-1200W | TEC-2500W | TEC-4500W | |
| Температура. Диапазон | -20℃~90℃ | -20℃~90℃ | -20℃~90℃ | |
| Мощность охлаждения | 20℃ | 1200w | 2450w | 4500w |
| 10℃ | 900w | 1925w | 3500w | |
| 0℃ | 600w | 1400w | 2600w | |
| -10℃ | 350w | 875w | 1600w | |
| -20℃ | 80w | 350w | 700w | |
| Мощность нагрева | ＞3000w | ＞6000w | ＞12000w | |
| Pump type | DC magnetic pump | DC magnetic pump | DC magnetic pump | |
| Pressure（bar） | ≤4 | ≤4 | ≤4 | |
| Поток | 15L/min at 2bar | 15L/min at 2bar | 15L/min at 2bar | |
| Fluid | Galden HT135 | Galden HT135 | Galden HT135 | |
| Температура охлаждающей воды | DI＜20℃ | DI＜20℃ | DI＜20℃ | |
| Cooling Water Flow | ≤12L/min | ≤20L/min | ≤32L/min | |
| Pressure | 0.5-0.8bar | 0.5-0.8bar | 0.5-0.8bar | |
| Поток | 2-3m³/h | 2-3m³/h | 2-3m³/h | |
Принцип работы
1. Держатель пластины (Chuck wafer carrier) 2. Циркуляционный насос (Circulation pump) 3. Контроллер (Controller) 4. Модуль термоэлектрического теплообмена (Thermoelectric heat exchange module) 5. Блок питания (Power module) 6. Вход охлаждающей воды (Cooling water inlet) 7. Выход охлаждающей воды (Cooling water outlet)
Это решение для управления температурой на месте значительно улучшает однородность процесса между партиями пластин и между камерами. Как это работает: мониторинг температуры расплава внутри камеры в реальном времени используется для динамической регулировки температуры подачи с целью компенсации изменений тепловой нагрузки в процессе. *Система управления температурой на месте *Быстрое изменение температуры значительно повышает пропускную способность камеры *Система без компрессора у точки использования снижает энергопотребление примерно на 50%
PELTIER CHILLER FEATURES
Они работают полностью без хладагента и требуют минимального обслуживания.
Вы можете доверять нашей фабрике чиллеров Пельтье
Мы являемся очень мощным поставщиком чиллеров с собственным заводом и более чем 20-летним опытом работы в области температурного контроля.
Глобальное обслуживание
Обслужено более 30 000 клиентов.
Экспорт в более чем 20 стран.
Сертификационные патенты
Получены сертификаты CE, SGS и ISO
Послепродажное обслуживание
Предоставление комплексного технического обучения.
Круглосуточные решения.
Профессиональная команда
Основана в 2010 году, с 15-летним опытом работы в отрасли.
20% сотрудников — технические специалисты.
Контроль качества
Визуальный осмотр.
Тестирование производительности.
Проверка электрической безопасности.
ЧАСТО ЗАДАВАЕМЫЕ ВОПРОСЫ
Пельтье-чиллер обеспечивает быстрое и точное управление температурой, способный удовлетворить любые требовательные требования процесса
Связаться с ЛНЕЙЯ
Отправьте нам свой запрос, и мы свяжемся с вами в течение 24 часов
Добавьте нашего менеджера по работе с клиентами с помощью QR-кода ниже
WeChat/телефон
86 18914253067
+86 18914253067
Адрес электронной почты
market@lneya.com
