LNEYA Промышленные чиллеры Производитель Поставщик
ALL Semiconductor chillers model
Охладитель Пельтье
TEC -20℃~90℃
TEMPERATURE ACCURACY ±0.1℃
Provide reliable and precise temperature control for wafer etching process
Dew point temperature
≤30℃
≤30℃
Power supply voltage
AC208V-DC250V
three-phase voltage
AC208V-DC250V
three-phase voltage
CDA activation temperature
＜30℃
＜30℃
LNEYA Peltier chiller thermoelectric cooler temperature range from -20 to 90℃, tailor-made for the semiconductor industry;
Based on the proven Peltier heat conduction principle, the Peltier temperature control system can provide repeatable temperature control for plasma etching applications; dynamic temperature control of the electrostatic chuck (ESC) enables it to be applied to all types of etching processes.
TEC SERIES
-20°C
Самый низкий
90°C
Самый высокий
±0.1°C
Точность контроля температуры
| Модель | TEC-1200W | TEC-2500W | TEC-4500W | |
| Температура. Диапазон | -20℃~90℃ | -20℃~90℃ | -20℃~90℃ | |
| Мощность охлаждения | 20℃ | 1200w | 2450w | 4500w |
| 10℃ | 900w | 1925w | 3500w | |
| 0℃ | 600w | 1400w | 2600w | |
| -10℃ | 350w | 875w | 1600w | |
| -20℃ | 80w | 350w | 700w | |
| Мощность нагрева | ＞3000w | ＞6000w | ＞12000w | |
| Pump type | DC magnetic pump | DC magnetic pump | DC magnetic pump | |
| Pressure（bar） | ≤4 | ≤4 | ≤4 | |
| Поток | 15L/min at 2bar | 15L/min at 2bar | 15L/min at 2bar | |
| Fluid | Galden HT135 | Galden HT135 | Galden HT135 | |
| Температура охлаждающей воды | DI＜20℃ | DI＜20℃ | DI＜20℃ | |
| Cooling Water Flow | ≤12L/min | ≤20L/min | ≤32L/min | |
| Pressure | 0.5-0.8bar | 0.5-0.8bar | 0.5-0.8bar | |
| Поток | 2-3m³/h | 2-3m³/h | 2-3m³/h | |
Dynamic temperature control principle
1.Chuck wafer carrier
2.Circulation pump
3.Controller
4.Thermoelectric heat exchange module
5.Power module
6.Cooling water inlet
7.Cooling water outlet
This on-site temperature control solution significantly improves process uniformity between wafer batches and between chambers.
How it works: Real-time monitoring of the chamber’s reflow wave body temperature is used to dynamically adjust the supply temperature to compensate for changes in heat load during the process.
*On-site temperature control system
*Fast ramp rates significantly improve chamber throughput
*Compressor-free point-of-use system reduces energy consumption by approximately 50%
PELTIER CHILLER FEATURES
They operate completely without refrigerant and require very little maintenance.
Вы можете доверять нашей портативной фабрике холодильника
Мы являемся очень мощным поставщиком чиллеров с собственным заводом и более чем 20-летним опытом работы в области температурного контроля.
Глобальный сервис
Обслужил более 30 000 клиентов.
Экспортируется в более чем 20 стран.
Сертификационные патенты
Прошла сертификацию CE, SGS, ISO.
Послепродажное обслуживание
Обеспечьте комплексное техническое обучение.
Круглосуточные решения.
Профессиональная команда
Основана в 2010 году, имеет 15-летний опыт работы в отрасли.
20% сотрудников - это технические специалисты.
Контроль качества
Визуальный осмотр.
Тест на производительность.
Тест на электробезопасность.
ЧАСТО ЗАДАВАЕМЫЕ ВОПРОСЫ
Peltier chiller fast and precise temperature control, able to meet any demanding process requirements
Связаться с ЛНЕЙЯ
Отправьте нам свой запрос, и мы свяжемся с вами в течение 24 часов
Добавьте нашего менеджера по работе с клиентами с помощью QR-кода ниже
WeChat/телефон
86 18914253067
+86 18914253067
Адрес электронной почты
market@lneya.com
